光电工程师社区

标题: 只知道物理厚度怎么用光控做呀 [打印本页]

作者: Lxykoko    时间: 2008-11-5 16:52
标题: 只知道物理厚度怎么用光控做呀
不知道咋算,谁能提供下公式呢?谢谢!怎么算出中心波长设定多少呢
作者: ferry    时间: 2008-11-5 18:29
中心波长=4nd
用这个波长监控,只要一个极值达到就成了.
作者: 280345601    时间: 2008-11-5 23:08
不用考虑TooLing偏差么
作者: qjy    时间: 2008-11-6 09:17
不可能一下子就没有任何偏差的,只能先按理论计算结果做实验,完了再根据实验结果进行调节
作者: ferry    时间: 2008-11-7 14:28
原帖由 280345601 于 2008-11-5 23:08 发表
不用考虑TooLing偏差么

这不是在给楼主说下原理吗?!还没有爬呢,就想跑啊.
作者: 破冰而出    时间: 2008-11-7 14:53
ND知道了不就知道了物理厚度了么‘???
作者: Lxykoko    时间: 2008-11-7 15:50
标题: 明白了
谢谢大家,我还想知道的是用两种膜料做一个膜系,用不用先考虑TOOLING值?假设做出来曲线有漂移可以按比例移到想要的位置吗
作者: ferry    时间: 2008-11-7 17:47
tooling是指工艺上的,要根据膜料来进行调节.理论与实践总有差距的.调好了,漂移就可以纠正了.(其实不能叫漂移,位置偏差更合适些.漂移多用来指因为膜层折射率等改变引起的曲线位置的变化,多半不大.)
作者: Lxykoko    时间: 2008-11-10 12:55
标题:
那设计膜系后,在做之前是不是一定要先把每种膜料的TOOLING值算出来再摸拟一下呀?
作者: lukaiyan    时间: 2008-12-2 20:39
nd=1/4波长  剩下的用软件了,还有与基板的角度有关系,需要条件确认
作者: 森林小树    时间: 2008-12-27 09:18
换算成光学厚度就可以了。。。。。
作者: 宇宙深处    时间: 2008-12-28 14:13
用公式算出膜堆之后,要考虑的就是基板到蒸发源的距离,溢镀量等因素,这些根据经验做些调整就可以了,不需要去用数学的方式来解决。
作者: 随风2008    时间: 2008-12-29 22:44
nd=1/4中心波长.tooling要根据监控波长,膜料,机台等因素在实做过程中抓取.
作者: hong    时间: 2009-1-1 11:57
人。=4nd.然后每层再按相应的厚度走极值即可




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