光电工程师社区

标题: 膜层不牢固 [打印本页]

作者: 272813953    时间: 2011-11-17 18:19
标题: 膜层不牢固
请问那个高手帮帮我,,我用有离子源的机台镀膜膜层不牢固那是什么问题啊???
作者: 风寒雪月缺    时间: 2011-11-18 08:30
离子源不是神。
作者: longmin    时间: 2011-11-18 08:32
基板清潔度不夠
作者: Jimmy_tang    时间: 2011-11-18 09:42
可能的问题很多啊,例如说,真空度不足,充氧不足,温度不足,基板不干净,膜料不干净,镀膜机不干净,电子枪不干净,离子源不干净,似乎都会造成膜层不牢固的吧?
作者: 缘睐汝痴    时间: 2011-11-18 09:58
Jimmy_tang 发表于 2011-11-18 09:42
可能的问题很多啊,例如说,真空度不足,充氧不足,温度不足,基板不干净,膜料不干净,镀膜机不干净,电子 ...

充氧不足会造成膜层不牢固吗,不是应该充氧太多了导致真空度低膜层反而不牢固吗,呵呵,目前还没有试过这方面的实验哈,只是有点疑惑
作者: Jimmy_tang    时间: 2011-11-18 10:00
额,是充氧过多,我写错了。充氧不足是影响膜的吸收。
作者: 272813953    时间: 2011-11-18 18:01
我镀平面镜时它又不会怎样丢镀啊!!同一锅镜片啊!!一清洗就脱膜了,,,平面的不会脱啊!!!凸镜丢镀好利害啊!!!
作者: 缘睐汝痴    时间: 2011-11-18 18:39
272813953 发表于 2011-11-18 18:01
我镀平面镜时它又不会怎样丢镀啊!!同一锅镜片啊!!一清洗就脱膜了,,,平面的不会脱啊!!!凸镜丢镀好利害啊!!!

主要还是稳定和真空度哈,像我们镀那种面型很凸或凹的都要抽到1.5-3左右镀的哦
作者: 272813953    时间: 2011-11-18 19:17
我都抽到3.0-3啊
作者: xiao2011    时间: 2011-11-19 18:18

作者: 272813953    时间: 2011-11-19 22:19
请帮帮我啊
作者: 追风男子    时间: 2011-11-21 21:00
没做过那个  做LENS 我可以帮你 .
作者: E501559    时间: 2011-11-22 08:23
你可以将真空度抽得再低点试试;

作者: 272813953    时间: 2011-11-26 20:57
???????????

作者: xiao2011    时间: 2011-11-27 00:13

作者: 余登峰    时间: 2011-11-27 13:30
是不是膜厚不够
作者: 272813953    时间: 2011-11-27 20:05
不会啊!!!我都做7层啊
作者: killjackson    时间: 2011-11-30 09:08
你的基底是什么材料?第一层是什么膜料?
如果确认机器没有被油污染,就从这两个方面查起。
作者: jiayuch    时间: 2011-11-30 09:17
离子源功率多少? 蒸发速率多少?还有好的工艺 镀前不擦拭也不会脱模的

作者: tyan007    时间: 2011-11-30 09:55
原因太多了。
作者: cgzsad0432    时间: 2011-11-30 14:57
272813953 发表于 2011-11-18 18:01
我镀平面镜时它又不会怎样丢镀啊!!同一锅镜片啊!!一清洗就脱膜了,,,平面的不会脱啊!!!凸镜丢镀好利害啊!!!

把加热时间延长,至少要恒温后15分钟以上,在镀凸透镜的时候,把温度提高5到10度左右,膜系同样要做一定的调整
作者: yibi11    时间: 2011-11-30 17:08
272813953 发表于 2011-11-18 18:01
我镀平面镜时它又不会怎样丢镀啊!!同一锅镜片啊!!一清洗就脱膜了,,,平面的不会脱啊!!!凸镜丢镀好利害啊!!!

平面不掉凸镜掉很容易理解,凸面的入射角度增大,对牢固度肯定是有影响的。关于牢固度不好的原因很多,没有在现场谁也不敢肯定具体的原因,可能就是一个很小的细节。跟楼主同病相怜吧,我这也老是掉膜,忙活了近半个月了,这才有一点好的迹象,楼主加油,慢慢找原因吧。。。
作者: 272813953    时间: 2011-11-30 22:44
我基板是BK7啊

作者: 272813953    时间: 2011-11-30 22:48
我用的膜料是AL2O3  LATO  MGF2啊蒸发速率每秒是
             4          5       6    啊
作者: gxfdllg    时间: 2012-3-24 18:17

作者: chao_li0622    时间: 2012-11-5 18:50
抽久点在镀
作者: zyjchj    时间: 2012-11-10 23:16
缘睐汝痴 发表于 2011-11-18 09:58
充氧不足会造成膜层不牢固吗,不是应该充氧太多了导致真空度低膜层反而不牢固吗,呵呵,目前还没有试过这 ...

充氧不足会使膜应力过大,量大膜劳固度小。
作者: chao_li0622    时间: 2012-11-11 16:15

作者: b06010914    时间: 2012-11-17 06:09
全程离子源吗?
不是的话温度很重要,是不是非平面的产品比较厚啊,可以延长烘烤时间。
作者: 贼头    时间: 2012-11-17 19:46
温度影响很大
作者: 272813953    时间: 2013-2-19 23:34
我温度调到260啊!!
作者: chao_li0622    时间: 2013-2-21 09:32

作者: 宇宙深处    时间: 2013-2-21 10:55
还是温度的影响大一些,你测出的温度是不是镜片温度?可以再加高点到300度。
作者: 飛兲寶赑    时间: 2013-4-8 18:56
272813953 发表于 2011-11-18 18:01
我镀平面镜时它又不会怎样丢镀啊!!同一锅镜片啊!!一清洗就脱膜了,,,平面的不会脱啊!!!凸镜丢镀好利害啊!!!

清洗剂脱膜
作者: 飛兲寶赑    时间: 2013-4-8 18:57
真空度不够高,膜料纯度不够
作者: 飛兲寶赑    时间: 2013-4-8 18:58

作者: yuliang518    时间: 2013-4-8 20:42
返油也有可能,清洁,真空度
作者: yuliang518    时间: 2013-4-8 20:43
可能原因很多,有时很难找
作者: 272813953    时间: 2013-7-16 18:39

作者: ipshjh    时间: 2013-7-22 21:08





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