光电工程师社区

标题: 机器出问题了，但是找不到问题点，请各位帮忙看看问题点在哪里，不胜感激 [打印本页]

作者: xiaohuilee 时间: 2012-2-17 22:08
标题: 机器出问题了，但是找不到问题点，请各位帮忙看看问题点在哪里，不胜感激
昨天由于作业员在操作过程中操作不当，导致真空仓内漏水，待我将其处理之后，开始镀膜。可是在镀TI3O5的时候出问题了，水晶监控时候其速率在1.7-2.3A左右，设置的是5A，改变设置RATE也没有用。由于速率太低导致电子枪电流不断上升，我们的镀膜电流时530MA，电流升到快700的时候就跳掉了，且速率还是也没有随着电子枪电流的上升而上升。

  我又试了SIO2的镀膜一切正常，就是TI3O5出现了问题。下面是我排查的问题点
  1，将电子枪重新保养一遍
  2.  将水晶更换至新的
  3.  将光斑重新调整（因为电子枪坩埚也卡死了，重新校准一次）
  可是问题还是如上解决不了，且经过判定不是以上的问题。可是就是找不到问题点。请各位专家们帮忙看看到底是哪个方面出现了问题。

愿意送50个银币作为赠送，虽然不多，也算一份心意。再次谢过

作者: 想夜的雨 时间: 2012-2-17 22:08
把膜料重新换新的吧，由于湿度大，速率上不去

作者: JINFENG215107 时间: 2012-2-18 08:24
你确定漏的水都解决了？还有会不会是漏水把电子仪表给搞坏了。

作者: 伏兰克 时间: 2012-2-18 14:39
看看电子枪三相电是否缺相电

作者: 伏兰克 时间: 2012-2-18 14:42
看看电子枪三相电是否缺相电

作者: xiao2011 时间: 2012-2-18 17:49

作者: cms8334426 时间: 2012-2-20 08:44
漏水修好了，可以用高温烤下，再不然换种材料试试？

作者: fiber01 时间: 2012-2-20 08:56
坐等高手。

作者: 嚣张づ营长 时间: 2012-2-20 14:51
应该是离子源那里出问题了,请检查下!

作者: xiaohuilee 时间: 2012-2-21 18:50
谢谢各位的解答，现在已经将问题解决了。谢谢谢谢

作者: wg100199 时间: 2012-2-24 16:09
膜料换新的喇嘛？另外漏水前后真空抽速一样吗。如果水汽大一样会影响的。

作者: shuangzixing 时间: 2012-2-28 11:59
楼主问题解决了可以分享一下是哪个原因产生。谢谢

作者: gxfdllg 时间: 2012-3-16 12:33
就是！！！

作者: 良哥 时间: 2012-4-11 20:47
楼主可以分享一下经验滴吗，哈哈

作者: ipshjh2005 时间: 2012-5-6 19:39

作者: qbf 时间: 2012-5-9 06:05

作者: wdydede 时间: 2012-5-10 01:22
楼主可以分享一下经验滴吗?哈哈

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)