镀窄带出现无规律漂移现象，大神来给看看啊

haisheng_0_0 · 发表于 2014-3-20 19:17:55

我们最近镀的窄带出现无规律漂移。

机器：光驰OTFC-1100，2007年买的。光学间接监控，晶控辅助,离子源，控制波长1084NM。

膜料：sio2,ta2o5.

膜系要求：1064NM在0°12°15°，T>80%。这样就设计出来一个半波在20NM左右的一个窄带，0°中心波长在1073nm。我们设计的膜系是44层。

现象：无规律的偏薄或者偏厚5～20NM，这样膜就用不成了。经常前一罩完全正常，后一罩就漂移了。也有连着好几罩正常，突然出现漂移的。出现漂移后，我们修改控制波长进行修正，会出现膜系完全和上罩曲线一样，没动的现象。再修改控制波长，，膜系会移动两次修正之和的位置。有点乱啊，呵呵，举个例子啊，这次是中心波长在1078，我控制波长移薄5个，正常的话出来的中心波长应该在1073，结果出来中心波长还在1078，然后我又移薄5个，这次出来的中心波长却是在1068位置。好几次都是这样。但是镀截止膜的时候几乎没出现过这种情况。

解决办法：1.先是怀疑单色仪有问题，换来厂家的装上，没解决。

            2.我们有红外单色仪，换上用红外波长控制，没解决。

            3.换控制波长，波长换到700，没解决。

            4.厂家说可能是装光控片的托盘时间长变形了，买来新的换上，用平行度小的光控片，没解决。

            5.怀疑离子源问题，买来新的栅网换上，没解决。

            6.更换旋转架滚珠，没解决。

            7.更换修正板，没解决。

            8.测量温度，正常，没解决。

目前就实验了这么多办法，实在想不出来了，各位同行有没有好的提议，大家都来讨论交流一下。

haisheng_0_0 · 发表于 2014-4-30 10:02:09

MorningTech 发表于 2014-4-23 14:40
从最后两层的作用来看，与带通中心波长位置无关，所以它的监控波长是不会影响中心波长的。

" 用一个 ...

经常性出现偏差，就不是偶然了。而且还不敢移动控制波长，不然跑的更远，

MorningTech · 发表于 2014-4-23 14:40:43

haisheng_0_0 发表于 2014-4-23 08:32
规整膜系。2层一个监控位置。只是最后2层用了短波长监控，试过用一个波长监控到底，没用。

从最后两层的作用来看，与带通中心波长位置无关，所以它的监控波长是不会影响中心波长的。

" 用一个波长监控偏差只有 2nm 偏差"。还达不到要求？ (我怀疑)这个现象是偶然的吧。

haisheng_0_0 · 发表于 2014-4-23 08:32:10

MorningTech 发表于 2014-4-21 16:17
控制波长不动，用一个波长监控到底？
非规整，两层一个比较片，还是规整的？

规整膜系。2层一个监控位置。只是最后2层用了短波长监控，试过用一个波长监控到底，没用。

MorningTech · 发表于 2014-4-21 16:17:34

haisheng_0_0 发表于 2014-4-21 16:01
要是监控方式问题的话，那就没救啦，机器就是这样设计的啊。只能理解为工作年限到了，误差出来了。气体纯 ...

控制波长不动，用一个波长监控到底？
非规整，两层一个比较片，还是规整的？

haisheng_0_0 · 发表于 2014-4-21 16:01:37

宇宙深处发表于 2014-4-18 18:50
看完了，基本同意17楼的说法。但楼主说此膜系用了6年。我想最近有没有其它的条件有变化（镀膜的变量太多了） ...

要是监控方式问题的话，那就没救啦，机器就是这样设计的啊。只能理解为工作年限到了，误差出来了。气体纯度会影响漂移？是来回的飘啊，一瓶气体用很久的啊。机器周围磁场应该没关系，因为这几年机器周围环境没有什么变动，也没有增添新设备再周围。
还发现一个问题，不动控制波长的话是小范围的飘，2NM左右。如果动了话就大范围的飘了，10-20NM了。

wdydede · 发表于 2014-4-18 23:33:45

宇宙深处 · 发表于 2014-4-18 18:50:50

看完了，基本同意17楼的说法。但楼主说此膜系用了6年。我想最近有没有其它的条件有变化（镀膜的变量太多了）。我说两个看似不着边际，但也有可能的因素。1、工作气体的纯度？2、工作环境是否有磁干扰。

coaterxf · 发表于 2014-4-16 17:45:06

MorningTech 发表于 2014-4-9 21:58
O在10年也推出直接光控了，还不错的。
1000nm附近，20nm带宽是比较考验非直接监控的，对直控来说压力不大 ...

现在做CVD镀膜，在球面上做IR Cut，才体会到简单的才是难的。
温度和真空度最简单，但是在管道、阀门、流量计等各个环节的真空度和温度真的清楚吗，这些基本的因素对工艺气体的物理特性有什么影响，往往是牵一发而动全身，忽视了一个很小的细节就会失败。
工艺是建立在硬件基础上的，不了解硬件的工作原理和结构就想做好工艺很难。

MorningTech · 发表于 2014-4-9 21:58:25

whpe2000 发表于 2014-4-9 20:20
在论坛上好久没看到这样讨论技术问题的帖子了

光驰的设备使用间接光控的方式监控,在镀窄带滤光片 ...

O在10年也推出直接光控了，还不错的。
1000nm附近，20nm带宽是比较考验非直接监控的，对直控来说压力不大，但产量会低些。
漂移问题，一般不在监控信号本身，而在于比例系数即Tooling的变化。

whpe2000 · 发表于 2014-4-9 20:20:20

提示: 作者被禁止或删除内容自动屏蔽

lovemannyzhu · 发表于 2014-4-2 20:41:46

機台不穩定吧

whpe2000 whpe2000 当前离线积分 7827 IP卡狗仔卡头像被屏蔽	17楼发表于 2014-4-9 20:20:20 \| 只看该作者提示: 作者被禁止或删除内容自动屏蔽
whpe2000 whpe2000 当前离线积分 7827 IP卡狗仔卡头像被屏蔽
	回复支持反对使用道具举报显身卡

[讨论] 镀窄带出现无规律漂移现象，大神来给看看啊

点评

点评

发表回复

浏览过的版块


热搜: 防雾膜棒料红外反射膜光电二极管镀膜机反射膜光谱仪光电探头真空镀银滤光片光器件应用光学 zemax激光远心镜头 sio2 增透膜离子源栅网 zemax 论文高反膜半反半透膜