光电工程师社区

标题: 膜层均匀性可以检测吗？ [打印本页]

作者: puxinghai 时间: 2006-1-13 01:32
标题: 膜层均匀性可以检测吗？
请问镜片在镀膜（1064nm）结束后是不是对膜层的均匀性进行检测？

作者: 风之炫彩 时间: 2006-1-14 08:19
是测膜的粗糙度么

作者: martin1980 时间: 2006-1-14 15:57
用椭偏仪应该可以的！

作者: cityu 时间: 2006-4-6 18:23
标题: 薄膜涂层质量分析服务
当然可以检测。香港城市大学深圳研发中心薄膜涂层质量分析服务

1）涂层厚度检测（Film Thickness Test）

球磨弧坑检测仪（Ball Crater Tester）用于测试涂层厚度（Cooting Thickness）

2）涂层纳米硬度检测（Nano-Hardness Test）

纳米硬度计/原子力显微镜（Nano-indenter/Atomic Force Microscope）用于测试涂层硬度

3）表面光洁度及轮廓检测（Surface Smoothness Test）

表面光洁度及轮廓测试仪（Surface Profilometer）用于涂层表面光洁度的测试（Coating Surface Smoothness）

4）涂层摩损率测试（Wear Rate Test）

针盘法检测仪（Pin on Disk Wear Tester）用于涂层摩擦系数（Coating Friction）涂层磨损率（Coating Wear Rate）

5）划痕检测（Scratch Test）

划痕和磨损检测仪（Scratch & Wear Tester）用于涂层附着力（Coating Adhesion）涂层磨损率（Coating Wear Rate）

6）涂层结构及成份分析（Struture & Composition Test）

电子显微镜（SEM & EDAX）用于检测涂层结构（Coating Struture）和涂层成份（Coating Composition）

7）盐雾实验根据ASTM标准或者客户提供标准测试

地址：深圳市南山区科技园虚拟大学园A-413
电话：0755-26712113
传真：0755-26017717
邮编：518057
香港城市大学深圳研究院龚硕

网上宣传地址：

http://www.cityu.org.cn/m2cts.htm

七、薄膜加工实验室
（一）物理气相沉积(PVD) 设备
• 射频和直流源磁控溅射系统。
• 离子束沉积系统
• 电子枪沉积系统
• 热蒸发沉积系统
• 脉冲激光沉积系统
• 闭合磁场非平衡磁控溅射离子镀
主要特性：
制备高品质的表面涂层，赋予产品新的性能(譬如：提高表面硬度，抗磨损性及抗刮擦质量，减低摩擦系数等)。在苛刻的工作环境中提高产品的使用寿命，并且改善产品的外观。例如在工业生产涂层的种类：
1、氮化钛膜(TiN)：常用于大多数工具的涂层，包括模具、钻头、冲头、切割刀片等。
2、类金刚石涂层(DLC)---Ti+DLC涂层具有良好硬度及低摩擦系数，适用于耐磨性表面、铸模、冲模、冲头及电机原件；Cr+DLC涂层为不含氢的固体润滑溅射涂层，适用于汽车部件、纺织工业、讯息储存及潮湿环境。
３、含MoS2的金属复合固体润滑涂层—适用于铣刀、钻头、轴承、及极低磨擦需求的环境、如航空及航天科技的应用
（二）化学气相沉积(CVD) 设备
• 热丝化学气相沉积系统
• 射频和直流源化学气相沉积系统
• 金属有机分解及熔解凝固沉积系统
• 电子回旋共振-微波等离子化学气相沉积系统
1、等离子体化学气相沉积是一种新型的等离子体辅助沉积技术。在一定压力、温度（大于500℃）及脉冲电压作用下，在产品表面形成各种硬质膜如TiN,TiC,TiCN,(Ti、Si)CN及多层复合膜，显微硬度高达HV2000-2500。
2、PCVD技术可实现离子渗氮、渗碳和镀膜依次渗透复合，可提高产品表面的耐磨损、耐腐蚀及抗热疲劳等性能。适用于钛合金，硬质合金，不锈钢，高速钢及一些模具材料的表面涂层处理。
（三）PIII等离子实验室
1、PIII等离子实验室由一个半导体等离子注入装置和一个多源球形等离子浸没离子注入装置组成，通过将高速等离子体注入工件表面，改变表面层的结构及性能，提高产品的硬度，耐蚀性，减少磨擦力以达到表面强化，延长产品的使用寿命及灵敏度的目的。
2、PIII球形等离子注入技术广泛应用于半导体、生物、材料、航空航天关键组件等各个领域，是一种综合技术，用于合成薄膜及修正强化材料的表面性能。与传统的平面线性等离子注入技术相比，PIII技术可从内壁注入作表面强化处理，极适用于体积庞大而形状不规则的工业产品。

作者: puxinghai 时间: 2006-4-6 22:08

呵呵,非常谢谢CITYU,赶紧通知我的供应商看看,免得我老是找他麻烦.

作者: nkhanbin 时间: 2009-2-20 16:31
多谢cityu，正在找：）

作者: gxbm 时间: 2009-2-21 09:53
要求有那么高？？？？？？？？？

作者: gzbeseem 时间: 2009-2-21 17:35
谢谢，很详细

作者: zzzz 时间: 2009-2-24 08:14
内行看热闹
外行看门道

作者: zhangking 时间: 2009-2-24 11:14
是的，我们公司也有的

作者: clight 时间: 2009-3-6 10:26
产品名称：
F50 膜厚分布自动测量系统
file:///F:/网站/090121完整/080910完整/080910完整/image/product/film/f50.jpg
产品简介：
F50配备全自动R-θ和X-Y工作台，有200mm和300mm两种型号可供选择，客户也可提供所需尺寸。测量速率高达2点/秒，通过快速扫描功能，可取得整片样品的厚度分布情况以及光学参数（n、k），有五种不同波长选择(波长范围从紫外220nm至近红外1700nm)。测量的薄膜厚度范围从 10nm到450um，最高精度为0.1nm。
主要特点：
操作简单、使用方便；
测量快速、准确；
体积小、重量轻；
价格便宜；
应用领域:
半导体行业:光阻、氧化物、氮化物；
   LCD行业:液晶盒间隙厚度、 Polyimides；
   光电镀膜应用:硬化膜、抗反射膜、滤波片
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联系方式:
北京高光科技有限公司
联系人: 田小姐
E-mail: ty@clight.com.cn
http://www.clight.com.cn
电  话: 010-58816816

作者: xiao_wenall 时间: 2010-4-6 14:54
四楼的信息很详细，多谢

作者: ghtzna 时间: 2010-4-7 08:02
看来高手如云啊
可以测得
大家多多交流

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