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我公司自主研发生产的智能化全自动镀膜监控设备在珠海佳能公司成功应运,同时得到该公司一致好评.该产品性能如下:希望得到大家关注,010-58051723 xlli@goldway.com.cn 秉承多年为中国光学镀膜以及磁控溅射镀膜行业提供膜系设计软件、宽光谱监控系统、透反射测量系统的经验,针对国产镀膜机的工作状态以及国内镀膜行业的需求最新推出高精度全自动光控系统。长期实验表明,Filmate光学镀膜系列产品完全能够在国产镀膜机上实现全自动光学监控,得到高质量高精度的膜系。
² 设备特点 l 网络技术的应用,使整套设备更加系统化、模块化、一体化; l 采用先进的双光路监控系统,使用单色性好、稳定性好、噪声小的光源,解决了长时间的光度稳定性; l 在光路设计上,选用最优方案,保证了光路成像、聚焦、分光等各个环节的最好匹配; l 信号处理采用了数字滤波、干扰信号抑制等最新技术; l 监控方式多样化,透射、下反射和上反射监控方式对应的监控系统有利于用户镀制不同膜系的需要; l 适合于各种规整、非规整膜系的镀膜监控; l 提供在线镀膜工艺指导(选项)。 ² 主要功能 l 镀制过程一键完成,避免了人为操作的误差,保证了成品率和镀膜结果的同一性; l 实时显示二维曲线包括:时间__透/反射比,时间__速率, 几何厚度__透/反射比。通过时间__透/反射比曲线可以实时修正停点,判断剩余时间;通过时间__速率曲线可以观察、分析速率的稳定性以及其对透/反射信号的影响;通过几何厚度__透/反射比曲线可以分析、对比理论设计与实际镀制的差异; l 实时显示数据包括:透/反射比,几何厚度,速率,功率,晶片状态等,计算折射率; l 当前层的信息丰富,包括理论停点,同一监控片的理论曲线,监控片,监控波长,判停方式,极值数,膜料,膜料的折射率,膜层的几何厚度,坩埚号等; l 具有膜系设计、计算功能,带有膜料库、膜系库,与Filmaster膜系设计软件兼容; l 具有设置监控方案功能,可以使用换监控片、监控片轮换和不换监控片等方法; l 与晶控仪通讯功能,可以导入、导出膜系、膜料参数; l 具有分光光度计功能; l 记录镀制过程、保存、打印等常用软件功能; ² 软件功能 l 系统测试l 监控方案l 膜系计算l 分光光度计 ² 技术参数 l 系统工作温度:10-35℃ l 光谱范围:380~1000nm l 波长分辨率:0.1nm l 光谱带宽:2.5nm l 波长精度: ±1nm l 长时间稳定性: 0.05% @100%; 0.01% @4%以下 l 测量速度: 1~10次/秒 l 测量精度: ±0.1% 本公司保留未经通知即随时修改技术规格的权力 |