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标题: IRcut镀出来呈浅黄色 [打印本页]

作者: fasces9 时间: 2011-7-15 17:26
标题: IRcut镀出来呈浅黄色
本帖最后由 fasces9 于 2011-7-30 08:47 编辑

颜色对比.rar (1.48 MB, 下载次数: 27)

我司用3台光驰机 GENER-1300 做IRcut 镀出来的产品呈淡黄色，严重是偏红色，有时好有时差，抓狂中。
试过很多方法了，氧气加了10sccm没有效果，光斑调整（担心打到铜上溅射上去）也没效果，温度250降到240和225也没效果（而且变得更糟糕），总体来说一段时间好一段时间颜色不正常。那位大侠有办法解决？期待中
目前测试：OS50氧气流量增加，颜色稍微变淡，OS50氧气流量减少，颜色变得更红。
      温度增加10度，产品颜色变淡了，温度降低，产品颜色变得更红。
      更换OS50底料，无明显效果。更换SIO2（不同材质），也无明显效果。更换OS50（不同材质），也无明显效果。
      调整SiO2光斑使之变大，5圈颜色变淡，与第1圈接近，但还都是很红。

作者: filmokay 时间: 2011-7-16 15:27
光谱正常吗？是污渍还是光谱偏移了啊

作者: fasces9 时间: 2011-7-18 15:55
光谱正常，可以确定不是污渍

作者: fasces9 时间: 2011-7-18 15:57

filmokay 发表于 2011-7-16 15:27
光谱正常吗？是污渍还是光谱偏移了啊

光谱正常，可以确定不是污渍，试着镀过不同中心波长的IRcut 也不是曲线漂移的问题。

作者: carpty 时间: 2011-7-18 22:31
更换一下tio2的膜料试试，坩埚里面全部换新的

作者: fasces9 时间: 2011-7-21 08:04

carpty 发表于 2011-7-18 22:31
更换一下tio2的膜料试试，坩埚里面全部换新的

坩埚试过更换新的tio2膜料，结果还是不行，SiO2和Tio2换别的公司试了下也是不行，温度调高10度，结果是好一点，但是膜划百格很脆，盐水试验后容易脱膜。

作者: sery1234 时间: 2011-7-21 09:04
略略问下，你做的什么波段的IR-CUT，

作者: fasces9 时间: 2011-7-23 08:50

sery1234 发表于 2011-7-21 09:04
略略问下，你做的什么波段的IR-CUT，

IRcut650

作者: wazxq 时间: 2011-7-23 10:16
贴出发黄的光谱看看?

作者: sery1234 时间: 2011-7-23 10:32
如果发黄的话，你的透过区的光谱可能有问题啊

作者: sery1234 时间: 2011-7-23 10:34
400-700这段透过率可能有半波孔吧，

作者: sery1234 时间: 2011-7-23 10:34
正常看起来产品应该是泛红而不是泛黄啊

作者: 13505171760 时间: 2011-7-23 12:03
都是牛人啊

作者: fasces9 时间: 2011-7-23 20:11

sery1234 发表于 2011-7-23 10:34
正常看起来产品应该是泛红而不是泛黄啊

如果严重的话就是发红了，很多时候只是淡淡的发黄

作者: fasces9 时间: 2011-7-23 20:22

wazxq 发表于 2011-7-23 10:16
贴出发黄的光谱看看?

IRcut650.rar (7.61 KB, 下载次数: 38)

这是发黄的光谱图，发黄与以前不发黄的片子等我拍照了就发给你

作者: fasces9 时间: 2011-7-23 20:25

sery1234 发表于 2011-7-23 10:34
400-700这段透过率可能有半波孔吧，

400-700挺正常的，我也试过把中心波长镀短（640）或者高点（655），前面的中心波长由380nm升到390nm ，400nm，结果还是不行，带离子源的比如（新科隆莱宝机）都没事

作者: xiazg 时间: 2011-7-25 08:25
建议更换晶振片试一下看看是不是监控的原因需要的话可以联系我 QQ1046118891

作者: fasces9 时间: 2011-7-25 09:34

xiazg 发表于 2011-7-25 08:25
建议更换晶振片试一下看看是不是监控的原因需要的话可以联系我 QQ1046118891

换过了，不是晶振片的问题

作者: sery1234 时间: 2011-7-25 12:57

xiazg 发表于 2011-7-25 08:25
建议更换晶振片试一下看看是不是监控的原因需要的话可以联系我 QQ1046118891

拜托下，发言有点技术含量哦，控制片有问题，光谱能做那么好么不过你没看光谱哈
这个可能和你机器内部的某些小细节有关系了
首先光谱没有任何问题，这就排除了什么控制片，材料等因素，
二你其他机台做出来没问题，排除是基片产生问题及清洗问题，
那么就剩下设备本身了，你仔细分析下设备状况吧，对你的设备不清楚，不敢妄加评论。

作者: fql3310 时间: 2011-7-25 13:40
你IR-CUT怎么在1100波长处透过率不行？你氧有充多了吧！

作者: fasces9 时间: 2011-7-26 09:49

sery1234 发表于 2011-7-25 12:57
拜托下，发言有点技术含量哦，控制片有问题，光谱能做那么好么不过你没看光谱哈
这个可能和你机器内部 ...

也不能全怪人家他做销售晶振片的呵呵一般清机后1-5炉很少出现问题，经常出现的是6炉以后，而且是一段时间好一点，一段时间差一点，就这3台机子出毛病，具有很大的随机性，尝试把温度加了10度，同时氧气sio2和tio2都增加5sccm，结果。。。
颜色比前一炉淡一点，但是盐水试验后膜脆，易脱膜。

作者: fasces9 时间: 2011-7-26 09:54

fql3310 发表于 2011-7-25 13:40
你IR-CUT怎么在1100波长处透过率不行？你氧有充多了吧！

没感觉充多啊，才80sccm，我尝试降到70sccm试试看

作者: fasces9 时间: 2011-7-26 11:31

wazxq 发表于 2011-7-23 10:16
贴出发黄的光谱看看?

照片已经发了，有兴趣可以去看看

作者: fasces9 时间: 2011-7-26 11:32

fql3310 发表于 2011-7-25 13:40
你IR-CUT怎么在1100波长处透过率不行？你氧有充多了吧！

照片已经发了，有兴趣可以去看看

作者: fasces9 时间: 2011-7-26 11:32

sery1234 发表于 2011-7-25 12:57
拜托下，发言有点技术含量哦，控制片有问题，光谱能做那么好么不过你没看光谱哈
这个可能和你机器内部 ...

照片已经发了，有兴趣可以去看看

作者: yufe16fisher 时间: 2011-7-26 14:43
这是发雾吧？散射太大，有没有减氧气试过？

作者: huxingong 时间: 2011-7-26 15:28
严重时偏红色？ 650 应该是红色啊？怎么能交严重啊？费解

作者: fasces9 时间: 2011-7-26 16:07

huxingong 发表于 2011-7-26 15:28
严重时偏红色？ 650 应该是红色啊？怎么能交严重啊？费解

请查看附件

作者: sery1234 时间: 2011-7-28 14:01

fasces9 发表于 2011-7-26 09:49
也不能全怪人家他做销售晶振片的呵呵一般清机后1-5炉很少出现问题，经常出现的是6炉以后，而且是一段 ...

既然你的前5炉没有问题，那么说明是镀膜的过程中某个部件被污染了，放气？

作者: sery1234 时间: 2011-7-28 14:02
或则你的铝箔啊（如果有的话）之类变脏了造成的？

作者: fasces9 时间: 2011-7-28 15:14

sery1234 发表于 2011-7-28 14:01
既然你的前5炉没有问题，那么说明是镀膜的过程中某个部件被污染了，放气？

或许我说的不够好，呵呵，小学语文就不及格，前5炉很少出现问题的意思是前5炉情况要好一点，但是最近几个月怎么也镀不出像去年那样透亮的，一直怀疑是钛晶格问题。。。

作者: sery1234 时间: 2011-7-29 11:22

fasces9 发表于 2011-7-28 15:14
或许我说的不够好，呵呵，小学语文就不及格，前5炉很少出现问题的意思是前5炉情况要好一点，但是最近几个 ...

呵呵晶格问题那就高深了，大哥你是研究生毕业的么，这属于研究生的课程啊我看了下，脑袋看大了，到现在为止不明白各种晶格与镀膜的那些因素相关

作者: fasces9 时间: 2011-7-29 16:25

sery1234 发表于 2011-7-29 11:22
呵呵晶格问题那就高深了，大哥你是研究生毕业的么，这属于研究生的课程啊我看了下，脑袋看大了，到现 ...

也是小本毕业，呵呵

作者: wdydede 时间: 2012-5-28 23:46
晶格？

作者: 山村野夫 时间: 2012-6-15 10:31
还是检查下机台是不是漏气或漏水，我以前也经常遇到

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