我们自己的监控仪器

cikelong2000 · 发表于 2003-6-13 23:18:00

Filmonitor BS
光学镀膜宽光谱在线监控系统
Broad Spectrum Optical Coating On-line Monitoring  Controlling System

Filmonitor BS光学薄膜宽光谱在线监测系统是采用国际先进技术和元件最新研制开发的具有国际先进水平的在线镀膜实时监控系统。通过在线测量膜层的光谱透射比或反射比对光学膜系进行监控。
Filmonitor BS is a new developed system using the state-in-art technology and latest components. This system is used for monitoring and controlling the thin-film depositing procedure by real time measuring the transmittance and/or reflectance in broad spectral range.
本系统可取代单波长极值法，对提高产品的质量、提高生产效率起到重大作用。
This system could be used to replace the common method called Max value of single wavelength, And is best for improving the coating quality and production.
已经在多家用户成功应用于宽带增透膜、分光膜、激光器窗口、望远镜红膜等膜系监控。
This system can be used for AR, BS, High reflectance mirror, Edge Filter, Bandpass filter, Window for laser, Telescope film etc.
特点：
Features:
l自动化程度高,提高成品率和镀膜结果的同一性
Highly automatic, Improving the consistence for each coating and production rate.
l特别适合与非规整膜的镀制监控
Much more suitable for film depositing of other than λ/4 film.
l快速,精确,可靠
Rapid responses, Accurate and reliable.
l安装和操作简单
Easy for installation and operation.
l提供在线镀膜工艺指导(选项)
On-line coating procedure instruction (Option)
l减少对镀膜操作者的依赖
More independence on the operator’s experience of deposition
l适用于已有的镀膜机改造及新镀膜机的配套
Suitable for upgrading the in-using and new coating machine.
l全光谱分析：在400-800nm光谱范围内实时监控比较片的透/反射曲线
Full Spectrum Analysis：monitoring the spectrum between 400-800nm to analyze the true reflectance or transmittance of the test chips being monitored.
l易于扩展：预留控制接口，可以与离子枪、挡板和其他设备联接。
Easy for expanding：System provides expanding interface for control of EB-Gun, shutter and others, pre-prepared for auto-control of thin film deposition
l实时评价由于各种原因造成的偏离，然后计算新的NK值调整镀膜工艺。
Real-time Chamber Characterization：Because the Filmonitor BS monitors the full spectrum during the deposition process, the system can identify shifts in spectrum due to various changes. The spectrum data can then be used to calculate new NK values which can update the design of the product being produced.
l评价函数拟合、光谱拟合或者理论曲线匹配功能
With Merit Function fitting or optical spectrum fitting or Simulation Template Match
系统简介：
System Description
Filmonitor BS是一个多波长光谱仪系统，其中包括了长寿命电压卤钨光源、线阵CCD探测器、嵌入式计算计以及相应的数据采集、计算软件。光缆联接的光路保证了系统的柔和性以及高信噪比和长时间工作稳定性。线阵CCD使得全光谱范围内每个波长处的信号都能够同时采集，并在恶劣的光学环境及采集到较低的信号。
The Filmonitor BS is a multi-wavelength spectrophotometer comprised of a long life, low voltage halogen light source, Linear CCD detector, embedded computer and software with sophisticated algorithms integrated into an easy to use instrument. State of the art fiber optic components deliver high signal to noise ratio and long-term stability. The Linear CCD allows the entire range of individual wavelengths in the spectrum to be detected simultaneously and is especially suitable for resolving low level signals in a noisy environment.
  系统可以配置为透射模式或者反射模式。
System can be configured to be used in Transmittance Mode or Reflectance Mode.
技术参数
Specification
* 光谱仪工作温度：5℃恒温
Spectrometer working temperature auto-controlled: 5℃
* 光谱范围：400～800nm（可在360～1050nm之间选择）
Spectral range: 400nm-800nm(option from the range of 360-1050nm)
* 分辨率：优于 2nm
Spectral resolution: better than 2nm
* 哑元技术消除暗噪声影响
Mute pixel techniques, wipe off dark Current infection.
* 低频快门以提高信噪比
Low frequency chopper, improve signal-noise ratio
* 稳定度： 0.5% @100%； 0.05% @4%以下（After Pre-heated for 20Min.）
stability： 0.5%＠100%； 0.05%＠4% or smaller
* 测量范围：R: 0～100% (反射可测减反膜) R: 0～100% (反射相对校准可测低反射膜)
Measuring range: T：0～100%，(AR film measurable by reflectance mode)R: 0～100% (low reflectance film can be measured if relative calibrated)
* 测量速度: 0.2～1 秒/次（平均值）
Measuring speed: 0.2～1 s/scan(average)
* 绝对测量准确度：
Absolute measuring accuracy:
透射比  ±1.0%, 反射比  ±1.5%（绝对误差）
Transmittance ±1.0%, Reflectance  ±1.5%（Absolute error）
* 相对测量准确度：
Relative measuring accuracy:
反射比  ±2%（相对误差）
Reflectance Error:  ±2%

部分光学测量头
计算机要求
Min. Requirements to Computer:
奔腾处理器，256M内存，20G硬盘，CD-ROM, 1.44M软驱，彩色显示器，Windows9X, WindowsME 或者Winsows 2000操作系统
Pentium CPU, 256M RAM，40G HD，CD-ROM，1.44M FD，Color Monitor, with operating system of Win9x，Windows Me，Windows2000
软件功能简介
SoftWare Description
²适用于色散和吸收材料
Available for color dispersion and absorbing material
²包含膜料库
Material library included
²计算机辅助技术
Computer aid end technology
²蒸镀过程中实时膜系结构修正
Real-time revise of thin film structure during deposition
²膜系计算：实现100层以内光学薄膜计算
²Thin film analyze: Suitable for film less than 100 layers
²实时监测：膜系计算结束后，进入实时监测功能，界面如图所示
Real time monitoring: Start the real time monitoring after film analyze, as follows
曲线显示：显示理论透反射比曲线和/或实测透反射比曲线
Display: Displaying the designed and/or the real time transmittance/reflectance measuring results.
波长、透反射比数值显示：当鼠标光标在曲线显示区移动时，在波长数值显示值和R/T显示框内随时显示光标所在点的波长值和该波长所对应的透反射比值。
Digital display: When the mouse moves to a certain position along the transmittance/reflectance curve, the R/T result relative to the wavelength point will be displayed in the R/T area.
标定：在透射时只进行100%标定，反射时是对比较片的反射比值标定。
Calibration: Only 100% calibration is need while in transmittance mode, And record the original reflectance from the test chip when using the reflectance mode.
采集：进行连续测量。
Acquisition: Real time date acquisition and analyze.
评价函数：是评价实际镀制中光谱曲线与理论曲线吻合程度的数值。
Evaluating factor: This is a figure indicating the match condition between the calculated and real time measured spectral.

本公司保留未经通知即随时修改技术规格的权力。
Right reserved to upgrade the specification without prior notice.

  北京欧普特科技有限公司
北京，海淀区，知春路49号，希格玛中心, B座306室，邮编：100080
Tel: (010)8809 6218, 83660041，Fax: (010)8809 6216, E-mail: weizhiqi@goldway.com.cn

ycxmy · 发表于 2003-6-14 15:29:00

多少RMB一套。

ic5 · 发表于 2003-6-14 16:22:00

现有以下几个问题请给予回复：
1、为什么特别适合与非规整膜的镀制监控？对非规整膜的监控方式是什么？
2、所采取的线阵CCD探测器，其取样时间是多少秒？
3、其信噪比能达到多少？
4、光谱范围能否拓展到1000~1800nm？
5、分辨率为2nm是否经过单色仪后的结果？经过单色仪后能否得到0.01nm的分辨率？
6、贵公司是生产商还是销售代理商，若是代理商代理哪家公司的产品？
7、报价？
我公司正欲改造一台设备光控系统，请尽快给我回复：water@aoctel.com

ic5 · 发表于 2003-6-17 19:30:00

请对上述问题尽快给与回复！

cikelong2000 · 发表于 2003-6-17 19:31:00

IC5你好，1，常用的极值法监控适合于规整膜系镀制，宽光谱监控从原理上不再依赖于膜系是否规整，而且可以在整个光谱区间上进行补偿，因此非常适合监控非规整膜系，当然也可以监控规整膜系。！
   2。CCD取样时间您可以自己任意设定，最小为3ms，每3次采样结果取平均后输出。因此，一秒钟输出3次测量值，完全满足镀膜需要。可以窗口平滑
   3。信早比具体指标没有，有波长分辨率： 2 nm
测量稳定度：  0.5%＠100%； 0.05%＠4%以下
测量范围：R: 0～100% (可测减反膜) T: 0～100%
   4。光谱范围只能到达400-800 nm，这由于光谱仪自身决定了
   5，我们所用的并非单色仪，我们开发的另一套产品单波长监控采用单色仪分光，对于精度要求较高的比较适用
   6我们是自己研制生产的，属于国内产品
   7报价为上、或下反射监控15万RMB，透反射监控16。6万RMB，是同类国外仪器的一半价格，性价比较高

cikelong2000 · 发表于 2003-6-17 19:49:00

如有意，请打电话010-83660041李小龙至于价格问题我们可以进一步协商

ic5 · 发表于 2003-6-18 04:34:00

如果谈论的话,请回复能否满足下列要求:
1、光谱范围能否拓展到1000~1800nm；
2、信噪比0.02%
3、频谱带宽小于0.01nm(高精度)


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