监控波长与镀膜曲线，懂光控的请进来看看。

otxtc · 发表于 2012-5-15 22:01:26

1. 光控入射角度(出入射夹角的一半)一般在3~5度以内，影响不大。14度就太大了，应该在确定监控波长时予以考虑。垂直与倾斜厚度就是个 cosine 关系。
2. 计算机控制可以做到极值判断，而不再需要过极值。//现在的新书也照搬几十年前的东西，呵呵。
3. 固定偏差与随机偏差可以这么区分的。
需要注意的是，光源角度带来的偏差是随膜系而变的，而且也不容易准确模拟出来。还是角度小点的省事。
至于监控片倾斜之类的，需要在结构及加工上下工夫。
4. 光控里有不少不易把握的地方，需要逐个解决。
5. 先找出影响最大的因素，重点予以解决(不一定是光控哦)。然后再细化其他方面，以免什么都抓不住。

tfc · 发表于 2012-5-16 08:10:29

楼上的判断部分是对的，再深入研究就好了，比如第2点，要结合实际情况，就算蒸发速率是恒定的，极值附件的变化梯度还是很小，坩埚挡板的动作有个延时，判断依据还有个变化量指定值，小于多少属于误差、大于多少属于真变化问题，特别对于折射率易变材料，极值判断都是风险很大的，这还不包括光控精度、稳定性。。。
其他不多谈，总之光控里面有很多文章，国产光控落后进口一大段，也是因为深入研究不够，被似是而非的东西蒙住了

otxtc · 发表于 2012-5-16 22:48:54

1. 多年前就有人做到了，判断算法并不落后，这不是随便说的，呵呵。极值判断对于滤光片还是很有用武之地的。
2. 挡板的延迟，原理上说是因素之一，但对气动结构挡板来说，对成膜结果影响可能不是主要的。通过软件模拟是可以得出这个结论的。
3. 国产光控在细节上是有许多需要改进的地方，但影响国产机器成膜结果的主要因素可能也还不在此。换句话说，国产机器配进口光控的话，不见得会好多少。
4. 还是要先找到主要矛盾。
5. 国产机器要从整体细节上下工夫，否则迟早会被市场抛弃。狼已经来了...

wdydede · 发表于 2012-5-17 00:15:56

学习学习，现在的技术是一日千里，不学习就落伍了

wdydede · 发表于 2012-5-17 00:29:02

但是感觉上还是过头比较塌实，
在做减反时，常常有意把监控波长选小一点，避免采用极值来提高精度真的过时了吗？

Jimmy_tang · 发表于 2012-5-17 08:39:00

一般都是过头的，否则无法判断是否真的是在极值。

wdydede · 发表于 2012-5-19 01:19:49

还是请otxtc不要怕辛苦，多讲讲！

wdydede · 发表于 2012-5-19 20:07:52

otxtc是做设备的吗？

一路有你 · 发表于 2016-7-21 16:37:26

MorningTech · 发表于 2016-8-2 08:59:12

光控自动判断，速率必须相对稳定。
上海膜林科技有限公司，专业晶控仪研制商。为您的光控系统提供保障。

2016.09.06-09,深圳会展中心，7F43

sery1234 · 发表于 2016-8-3 22:10:45

个人表示点意见，光学镀膜到现在很多技术都很成熟，建议多花点时间在机器上，了解机器的特性，注重每个细节，长短都无所谓，，先保证你机器的重复性，一次实验一个参数，最后你自己都蒙了

MorningTech · 发表于 2016-8-4 15:08:25

sery1234 发表于 2016-8-3 22:10
个人表示点意见，光学镀膜到现在很多技术都很成熟，建议多花点时间在机器上，了解机器的特性，注重每个细 ...

说的非常对。重复性是关键。真空度、温度、沉积速度、厚度稳定和重复都至关重要。
晶控承担了沉积速率、厚度两项重任。

上海膜林科技有限公司晶控仪，经几年来的市场检验，完全可以胜任当前任务，并不比任何进口仪器差。

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