大家好？

有人做极紫外光刻（EUVL）吗？ 我想问问它的投影系统的设计，特别是关于4反境or5反境系统的光学设计问题， 例如美国EUV LLC的ETS机器的一些性能，有具体数据最好：） 呵呵，如果是3反或者是2反就不必拉。。。。。 ...

如果系统是相当于放大镜那样成放大虚象, 如何评价其成像质量好坏? 难道也是用MTF吗 可是发现有时聚焦光斑小,MTF却很差 但是MTF好时,明显却没有聚成虚像点

谁能介绍一下beam propagation method (BPM)？

运行时总是出现这样的错误！”应用程序正常初始化（oxc0000142）失败“ 我在zemax的网站上下的demo版根本就不能安装,哪位大侠能帮我解决这个问题啊！ 谢谢！

请教光学设计高手，数码相机相对照明要大于多少？

版主同志，我有光学仪器设计手册上（.pdf格式），附件好像不行。怎么上传？

我不知道从哪里开始入手。 请高手指点一下具体步聚！ 谢谢啦

微波上有相控阵技术，不知道光学上有没有类似的技术啊？

二位好！ 关于OSLO的手册翻译，在五一前我以把认译的部分寄出，但是很多都被退回，所以我想请二位代为转寄，如果可以的话，请往 xyzsonglin@sohu.com 发一封确认信。 以上