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硅片清洗设备的日常维护
作者:闫志瑞,李俊峰,刘红艳,万关良,李耀东,鲁进军 转贴自: 点击数:425
摘要:对硅片清洗的日常维护从清洗工艺的角度进行了分析,并对具体问题的处理方案进行了阐述,从而使清洗设备工作更加稳定。
伴随着硅片的大直径化,器件结构的超额微小化、高集成化,对硅片的洁净程度 ...
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镀膜前的清洁首选--超细纤维擦拭布(免费索取),备有无尘等级CLASS1000-100级,欢迎来电咨询索取样品,联系电话:021-51096229 顾先生
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请教各位高手:在有机玻璃(PMMA)上做何种镀膜、喷涂处理,可使有机玻璃对波长为950的红外波的通透率最大,同时使外观上的颜色为黑色?
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请问各位大虾,那种光学膜的附加值最高?是激光晶体膜、还是光通讯膜?
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我们是北京利方达真空技术有限责任公司我公司是集真空产品开发,生产及贸易一体的企业集团.
集团主要业务包括代理销售国外知名产品: 如德国普发真空 (Pfeiffer Vacuum) 的全线真空产品(涡轮分子泵,机械泵,罗次泵,干泵,真空计,检漏仪,质谱仪,各种真空阀门,真空法兰,镀膜机和检漏系统);美国美泰克公司(Maxtek)的石英晶体膜厚 ...
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我是一个菜鸟
问一个初级问题
1:(HL)416H(LH)4
这里边的16怎么回事?到底多少层?怎么构成的?
2: SUB/0.532H0.913L......./AIR
H,L前边的数字什么含义?是厚度?
谢谢
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最简单的例子,已知波长、空气折射率、薄膜折射率、基片折射率、反射率,要求膜厚。
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机器电子枪坏掉过一段时间,最近修好了。但是蒸Al2O3的时候速度特别慢,而且折射率也低了好多的。原本可以达到1.64,现在只有1.60,甚至还有1.57出现的。蒸镀电流并没有变化。为什么呢?
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请教各位大哥,我们在韩一机12层的BBAR双面(TIO2-SIO2两种材料)为什么经受不住内圆切割、化料、清洗这三道工序,流出来的正品只有15%,次品有点子、道子、印子)?
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哪位知道McLoed,TFC和Filmstar的优缺点?请指教。