基于MEMS技术的微型阀研究

张晰哲[1] 唐周强[1] 韩先伟[1] 管海兵[2] 宦飞[2]
[1]西安航天动力研究所[2]上海交通大学信息安全工程学院

根据微机电系统（MEMS）技术和微型阀技术的研究现状与发展趋势，在微型阀致动机理分析和性能对比的基础上，通过对微型阀结构的理论计算和数值模拟，论证了静电致动和压电致动两种微型阀方案，确定了微推进系统用微型阀的主要技术参数和性能指标；通过结构设计和MEMS工艺攻关，完成了基于MEMS技术的压电致动微型阀原理样件制造，并进行了初步的原理试验验证和性能检测。结果表明，基于MEMS技术的压电致动微型阀原理可行，方案合理；通过进一步的结构优化，解决多层键合和系统封装工艺，可以获得高性能的微型阀，为小型、轻质和集成化微推进系统研制奠定基础。

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2010-6-6 00:19 上传

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