花斑，道子的问题

各位大侠，我们在韩一机上镀AR膜，棱镜时，要先镀大面 再镀小面，以前2个面的温度都是345，大面出现花斑。现在大面的温度是355，小面的温度是345，检验的检查出来，大面还是有花斑，比之前的好点，这种状况是什么原因产生的，花斑有什么产生？？     还有在光驰机上镀一面镀ar膜，一面镀UVIR膜 ，超声波超出来后 ，我们在强光灯下检 ，检出最好的片子放到镀膜机上镀，投了150，才合格了26片，大部分是细道子，这个是什么原因啊  急。。。。。。。。。。。

你有没有用离子源，可以考虑一下是否是由于束流不稳的原因

镀棱镜时，用韩02机  没有离子源 。          光池机上用离子源的 ，束流也稳定的 ，

这几天天天在讨论 0317-014要良品率要达到80%,现在最好只有50%，都是道子，不知怎么产生的，机器上的版都是干净的，打扫也是亲自动手，能打扫的地方也都打扫了，还是很低 ，郁闷。  还有dsc要达到96%，现在也只有95%左右 ，哎哎

烘烤的问题，
温度为何要345度？太高了。
电子枪周围的温度也很高吧。电子枪很容易脏。
花斑是烘烤引起的，原因是静电场引起。
道子的话可能是烘烤温度过高，材料薄膜的特性吧，像镀MGF2这种膜料的话，基片温度当然得200度或250度左右。其它膜料加热温度低点就可以或不用加热。
有些基片是本身有道子的，看不出来，如果想证实的话，可以放到真空室抽上只烘烤就可以，烘烤完了再拿出来看一下。有没有就会发现的。
有问题QQ联系。QQ：123831403

会不会是在你镀二面之前，超声波把你一面已镀好的膜层给破坏，然后再经过高温烘烤，从而出现膜层开裂现象了。你试着用手擦拭二面（不用进超声波）后，镀制了瞧瞧。

第一个你的AR膜用啥材料啊
第二个估计超声的影响较大

会不会是在你镀二面之前，超声波把你一面已镀好的膜层给破坏

超声波清洗有可能产生问题！！！！！！！！！！！

  学习了，收益匪浅。