问题:镀膜锃蒸速率增加但电子枪电流下降？为什么？

dufflor · *发表于* 2011-3-15 11:04:36

本帖最后由 dufflor 于 2011-3-15 11:15 编辑

各位大大，想请教高折射率材料，使用一年后，镀膜时间渐渐缩短，蒸发速率增加，电子枪电流下降？为什么会这样？镀膜制程没修改，一起镀膜的低折射材料却没有时间缩短的问题。

z1206l · *发表于* 2011-3-15 12:48:39

用的什么设备，光控还是晶控？
镀出来的曲线有异常吗？

dufflor · *发表于* 2011-3-16 08:44:27

本帖最后由 dufflor 于 2011-3-16 08:46 编辑

光驰1300，用电子枪镀膜，光控及晶控同时进行,晶控控制厚度.曲线方面,起始点没变,结束点比原本的高,例如 28% --〉32%

xcy1075 · *发表于* 2011-3-16 09:59:54

电子枪高压出问题了!叫你们的机修去修一下!你们有没有主意电流加大高压掉下来了?

dufflor · *发表于* 2011-3-16 13:13:57

xcy1075 发表于 2011-3-16 09:59
电子枪高压出问题了!叫你们的机修去修一下!你们有没有主意电流加大高压掉下来了?

这是说电子枪电流很大时，会不稳定，电流小比较稳定的意思吗?目前是看到高折射材料的电流（~500mA)，shutter打开后就会开始下降,而低折射率材料的电流(~50mA)就没有这个问题。

苏州膜头 · *发表于* 2011-3-16 19:54:54

dufflor 发表于 2011-3-15 11:04
各位大大，想请教高折射率材料，使用一年后，镀膜时间渐渐缩短，蒸发速率增加，电子枪电流下降？为什么会这 ...

电子枪电流下降，蒸发速率还增加了？如果排除高压电源电压升高，那么恭喜你楼主，你的枪被你调整的相当好，聚集好，能量好，减少了二次电子。
但是你是晶控的，蒸发速率增加，时间缩短那是必然的。如果速率升高，而你又没有做调整的话，那么悲剧了，你的晶控仪坏了。

xcy1075 · *发表于* 2011-3-18 13:24:41

如果你束率一直都不变(,是说电子枪电流很大时，会不稳定，电流小比较稳定的意思吗?目前是看到高折射材料的电流（~500mA)，shutter打开后就会开始下降,而低折射率材料的电流(~50mA)就没有这个问题。)你这里说的就跟枪没有关系了,
如果束率达不到你的设定值那你就要去观察你电子枪高压有没有掉下来