太阳能硅片检测技术--硅片的金字塔检测-大平台硅片检测显微镜

太阳能硅片检测技术--硅片的金字塔检测-大平台硅片检测显微镜
一、简介：
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等，造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象，使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一。大平台明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜，图像清晰、衬度好，同时配有偏光装置，及其高像素的数码摄像头. 本仪器配有暗场物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器
二、特点：
最先进的光学设计，无限远光学系统，得到优质的光学成像质量
平场无限远超长工作距离物镜
超大而平坦的视场，视场直径达到ф26

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