渡膜机真空度问题求救！！！！

lhz2009 · *发表于* 2009-4-10 16:25:40

各位大侠，小弟求教一个问题：
今天渡膜机的真空度抽不下来，一直维持在8.6E-3，该怎么检测才比较快速有效呢？我用酒精发现效果不好，没有找出原因，请教方便简单的检测方法。
仪器型号，ZZSX-800,北京仪器厂，2001年制造。

jinfeng · *发表于* 2009-4-10 17:18:55

手头没有检漏仪的话也没有什么好办法了
需要经常动的真空室接口的地方仔细检查检查吧，祝你好运！

holdout@163 · *发表于* 2009-4-13 10:49:32

用丙酮的效果要好点!

AR_coating · *发表于* 2009-4-14 04:24:03

3# holdout@163

丙酮 can etch the O-ring, not recommend.
In case of this kind of leak, please check all the O-rings.

*发表于* 2009-4-14 08:43:33

接口的地方仔细检查检查吧..... http://www.opticres.org

*发表于* 2009-4-14 09:48:46

先确认一下最近有没有动什么东西，把动过的地方用丙酮检一下。另外就是查你经常有在动的东西如档板高阀等问题。如果有别的问题可以加我QQ79293732（附镀膜）直接和我聊就好了。

JZNT · *发表于* 2009-4-14 15:23:39

主要是接口和经常活动的地方例如各类挡板和观察窗口处

wazxq · *发表于* 2009-4-14 15:41:18

隐蔽的地方没有检漏估计很难

Ion.source · *发表于* 2009-4-14 18:39:35

真空问题不是急得来的,有时看运气
1. 排除放气的可能
2.捡漏,看看最近这台机被动过什么地方
3. 分别转动挡板,工件盘等转动的部分,看看真空度是否有跳动

师婷婷 · *发表于* 2009-4-15 15:13:13

顶个，有需要晶振片盒晶控片的可以联系我咯···价格实惠，质量有保证！

riy2000 · *发表于* 2009-4-19 00:10:49

仔细找能找到的，先看看动过些什么喽。。

ymrtgobn · *发表于* 2009-5-3 14:11:54

一般都是转动系统漏气的较多可先看看这个

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