环抛单晶硅能达到的指标

hushujiang · *发表于* 2003-6-9 22:26:00

哪位同仁可以告诉我，环抛3”直径，5mm厚度的单晶硅，通常可以达到的平行度（或TTV）是多少？两面的光圈可以做到多少，如何避免塌边？
谢谢！

polisher · *发表于* 2003-6-12 06:21:00

环抛的DP法抛光，理论上讲可以达到想要的平行度，本人也想实践一下。而环抛的CP法抛光本人有一定的实践经验，即可单独自整形，也可分离法抛，其平行度与两面光圈与抛玻璃件近同，问题在于测不透可见光的硅，您有否合适的装置。

hushujiang · *发表于* 2003-6-12 06:42:00

测量平行度，可以用测量TTV代替；测量光圈用光学平晶。

mincailiu · *发表于* 2003-6-13 16:25:00

5mm厚度的单晶硅用光学平晶测量光圈？建议用干涉仪检验好些，普通目示干涉仪就可以了。

crystallqj · *发表于* 2003-6-15 00:06:00

你们用什么研磨粉抛光单晶硅的？请看一下我的贴子，看我们公司的产品是否有用。
我们生产精密研磨微粉（等同于Fujimi的PWA和FO），用于抛光硅单晶、光学玻璃、LCD等

cjx · *发表于* 2003-6-15 20:18:00

可以做到两秒内。光圈0.1圈

xyqy · *发表于* 2003-6-16 23:48:00

下面引用由polisher在 2003/06/11 10:21pm 发表的内容：
环抛的DP法抛光，理论上讲可以达到想要的平行度，本人也想实践一下。而环抛的CP法抛光本人有一定的实践经验，即可单独自整形，也可分离法抛，其平行度与两面光圈与抛玻璃件近同，问题在于测不透可见光的硅，您有 ...

能不能说得明白一点，什么是“DP法抛光”和“CP法抛光”？