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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 挡板关时放电

[讨论] 挡板关时放电

 火...
3.7k 4
发表于 2012-10-29 22:19:34|广东 | 查看全部 阅读模式
请教各位：现使用国产机，TIO2侧镀完后，挡板自动关闭时SIO2侧有放电，且室内照明有闪一下的现象，请问下各位是啥原因啊？
挡板
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回复|共 4 个

xiaohuilee Lv.2 发表于 2012-10-30 11:36:05|广东 | 查看全部
你描述清楚些 两种膜料的坩埚是否相邻 光斑扫描情况
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kingpeter 楼主Lv.8 发表于 2012-10-30 15:24:06|广东 | 查看全部
左：SIO2,右：TIO2，两挡板离高压端子接近，开时往外打。
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LOUYC Lv.7 发表于 2013-7-23 11:17:03|河南 | 查看全部
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yong0009 Lv.8 发表于 2013-7-23 14:08:18|广东 | 查看全部
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