请有经验的高手帮忙

哪位对离子源了解比较多的朋友能不能帮我介绍下：
1。现在离子源的主要类别，各自相关的特性，设备参数（离子能量，束流大小，均匀区范
  围等）。
2。国内生产离子源的公司有哪些（过硬的），主要生产哪个类别的离子源，其设备参数
  ，相应的价格。
3。进口离子源的生产厂家（主流）， 主要生产哪个类别的离子源，其设备参数
  ，相应的价格。

因为现在正进行相关方面的调研，所以需要这些数据，可能要求的内容有点多，不一定每项都需要解答，请告诉我您了解的比较清楚的方面就可以，或介绍相关网址给我查询。
谢谢

据我所知，目前主要的ION SORUCE有RF源（Vecco公司）、APS源（莱宝公司）等，他们各有其优点，所以现在利用的很多。
一台镀膜机其离子源占据着重要的地位，但要看你产品的要求各有所长，所以这很难说出谁好谁差！对不同的产品其参数肯定也不同，这也不好说！主要的参数也就是你所列出来的几项！

ic5兄,那国内相关的生产厂家又有哪些呢?生产哪些类别的离子源呢?其设备参数如何呢?
我所问的设备参数是指离子源本身固有的离子能量,束流密度,均匀区范围等参数,而并非具体的某个膜系或常规使用时的工艺参数,所以应该不存在工艺保密性等问题吧?
另外,我们应用离子源主要想提高膜层的体密度和粗糙，进而避免膜层的吸潮漂移和提高膜层表面的质量。
不知道有哪位高手比较了解国内的离子源生产厂家的，请告知几家，最好是有过相关使用经验的，能大致告诉我下哪几家的离子源在我提的方面性能好些，我会进一步进行比较的。
多谢。

离子源很贵的!你们是不是在做X-CUBE?

to ofeiying:
  不是的，只不过最近通过观察薄膜表面的形态及自己做实验定性分析，觉得离子源可能是影响我现在产品的主要原因而已。
  所以想了解下国内离子源方面的信息，好做为下一步改进的参考。

抱歉，国内的离子源我不是很了解，对此我没有发言权，但国外的几位搞离子源高人都是中国人，这不知道是算国内还是国外！哎！说到这项高技术部件，都说国内的不好，但国外好的也有很多都是中国人在弄，这是怎么说呢？

国内的离子源要数中科院空间中心的不错，大致有APS、考夫曼、霍尔源等几大类产品。

国内的源作小批量可以，大批量有困难。

x-cube制作的要求非常高。但是不是镀膜的要求非常高呢？在我看来，镀膜不是最难得

50%透射点

TO JESUS:
你用的是什么设备?

我们使用的就是北京空间技术中心的10cm和12cm直径的离子源产品.
我想了解下除了这家的产品外有没有其他质量过硬的厂家了.
主要还是我说到的感觉离子源所应起到的减少粗糙、提高体积密度、减小波长漂移方面的效果不很明显。
所以想找下其他厂家的相关方面的信息.