[讨论] 阻抗问题讨论

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发表于 2011-6-29 20:07:14|广东 | 查看全部 阅读模式
在DC sputtering时,有一个参数是Impedance范围0-10000,请问如果过程中如真空度过高或功率很低引起阻抗很大,意味着什么,会不会对电源有损害?

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