怎么没人介绍磁控溅射

流浪的狗 · *发表于* 2003-11-28 00:58:00

这个论坛介绍磁控溅射的好象不多．

chugqchugq · *发表于* 2003-11-28 23:45:00

你想知道什么？

ic5 · *发表于* 2003-11-29 00:32:00

老兄，现在用磁控溅射的人也不多啊！

wbw · *发表于* 2003-12-1 19:21:00

下面引用由ic5在 2003/11/28 04:32pm 发表的内容：
老兄，现在用磁控溅射的人也不多啊！

好像不能这么说，磁控溅射技术早已经大面积应用于幕墙玻璃，从原理上来讲有很多优点，原则上来讲可以制备非常广泛的薄膜，适合连续大面积的生产，容易产业化，是很重要的镀膜方法，也是镀膜的一个重要的发展方向，我想这个技术应该值得讨论。

likeoe · *发表于* 2003-12-1 20:33:00

各有千秋，磁控溅射有致密性好，膜厚控制精度高，可以沉积各种功能薄膜和光学薄膜，尤其是最近Web Coating的兴起，磁控溅射更是首选技术，在做硬质加强膜如刀具上的镀膜，也可能非磁控溅射莫属。但磁控溅射用于做小批量生产时，由于速度，镀膜面积等因素，还是增加了成本。从速度上衡量，我个人认为怎么也快不过E-Beam蒸发。在做激光薄膜时，到目前为止，还没看到成功的案例用磁控溅射法做的，因为其阈值往往很低，可能在将来有什么改进后会提高阈值。