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求助：pecvd法在硅片上长出来的si3n4是单晶还是多晶呀？

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发表于 2004-10-24 08:14:00|北京 | 查看全部 阅读模式

求助：pecvd法在硅片上长出来的si3n4是单晶还是多晶呀？
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eagle1 Lv.7 发表于 2004-11-3 22:34:00|新加坡 | 查看全部

肯定不是单晶，可能是非晶和多晶。

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zzf-1 Lv.4 发表于 2005-2-4 21:36:00|Invalid | 查看全部

回复：（ditto）求助：pecvd法在硅片上长出来的si3n4是...

生长的SiO2或者SiN介质薄膜本来就不是晶体形式存在的，不需要讨论。

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