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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 如何检测ITO导电膜刻蚀出的图案？

如何检测ITO导电膜刻蚀出的图案？

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发表于 2004-5-10 01:17:00|上海 | 查看全部 阅读模式
请问如果利用ITO玻璃上的ITO导电膜刻蚀微电极，通过什么方法检测腐蚀后图案的好坏？谢谢
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回复|共 4 个

coatingli Lv.10 发表于 2004-5-10 01:38:00|广东 | 查看全部

用显微镜看啊

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biomems 楼主Lv.4 发表于 2004-5-10 21:34:00|上海 | 查看全部
但是ITO膜是透明的，如何分辨啊？
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coatingli Lv.10 发表于 2004-5-10 21:36:00|广东 | 查看全部

可以的，我们就是这么做的

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biomems 楼主Lv.4 发表于 2004-5-11 19:14:00|上海 | 查看全部
好的，我试试看。谢谢！
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