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石英晶体在真空镀膜测厚技术中的应用研究－PDF文件，用acrobe打开

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2004-5-7 21:17 上传

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[此贴子已经被作者于2004-6-6 22:51:44编辑过]

d多谢！

nnn

是啊 唉 ，发帖少，看不了

唉 ，发帖少，看不了

这是我第一次帖文章，如果你注意我后面的帖文，就会发现我已经改正错误拉，还是谢谢指正

太少了

谢谢

谢谢,

看过的了

摘要：基于石英晶体振荡原理，提出了在真空状态下的一种超薄型镀膜测厚方法，介绍了该项测厚技术的基本电 气原理，研究了测厚过程中石英晶体材料的选取方法和组织实施原则*石英晶体应具有固定的技术参数，并被安放 于真空舱内的正确位置*密闭的石英晶体探头通过同轴电缆与外部振荡器相连，振荡器输出的频率信号由微机进 行处理，将频率信号转化为厚度值。

照顾一下新来的兄弟姐妹，我将摘要拷贝出来，楼主不会有意见吧。