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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 氧化物薄膜如何测应力 厚度

氧化物薄膜如何测应力 厚度

 火...
5.3k 7
发表于 2003-4-5 20:03:00|大连理工大学 | 查看全部 阅读模式
如何测量薄膜的厚度以及内应力 大约在微米量级上 谢谢
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ic5 Lv.12 发表于 2003-4-8 01:49:00|上海 | 查看全部

氧化物薄膜如何测应力 厚度

到上海光机所薄膜中心去问问，他们那里的研发力量还是强大的！
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coating Lv.6 发表于 2003-4-13 17:06:00|上海 | 查看全部

氧化物薄膜如何测应力 厚度

应力可以用干涉仪测量，薄膜厚度可以到上海光机所薄膜中心用nkd薄膜分析仪进行测量。
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lavajydm Lv.9 发表于 2003-4-29 03:21:00|江苏 | 查看全部

氧化物薄膜如何测应力 厚度

你的薄膜是什么类型的啊？？
是有机物还是金属膜？？
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zzf Lv.2 发表于 2003-5-1 00:42:00|湖北 | 查看全部

氧化物薄膜如何测应力 厚度

可以用dektak 的台阶仪测试
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lavajydm Lv.9 发表于 2003-5-1 07:36:00|江苏 | 查看全部

氧化物薄膜如何测应力 厚度

光谱分析仪器
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a99533126 Lv.10 发表于 2011-6-19 08:20:47|广东 | 查看全部
学习了
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greenhaw Lv.7 发表于 2011-6-29 20:01:04|广东 | 查看全部
都可以用a-step测试，厚度直接测试，应力通过测试Bowing值计算。
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