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[求助]DWDM基片的加工粗糙度可以达到多少？

2.6k 6
发表于 2004-7-5 20:44:00|北京 | 查看全部 阅读模式
DWDM基片的抛光加工粗糙度可以达到多少？至少要达到多少？
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touchsky Lv.9 发表于 2004-7-5 22:09:00|广东 | 查看全部
小于20-10,平面度要求比较高,一般0.0005
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lczhy00001 Lv.12 发表于 2004-7-6 04:21:00|浙江 | 查看全部
Ra0.7nm
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arrow 楼主Lv.8 发表于 2004-7-6 20:50:00|北京 | 查看全部

平面度太高不是会产生较强的干涉效应吗？

用什么仪器可以测量？有没有简单的测量办法？

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lczhy00001 Lv.12 发表于 2004-7-7 01:27:00|浙江 | 查看全部
轮廓仪
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qx__wei Lv.2 发表于 2004-7-11 20:35:00|北京 | 查看全部

wyko或zygo的轮廓仪可测表面粗糙度

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碧海银沙 Lv.8 发表于 2004-7-16 23:20:00|四川 | 查看全部
可达到5A
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