[讨论]：ITO镀膜问题

ZHE910 · *发表于* 2004-8-26 20:30:00

ITO镀膜产生的裂膜，白雾，核膜后不均的原因有哪些，请大家讨论讨论

xiaohe · *发表于* 2004-9-10 23:41:00

这个问题影响的主要因素有水汽和扩散泵的返油造成的，咨询０５５１５３２９１９５何

matta · *发表于* 2004-9-10 23:58:00

膜裂是由于膜表面应力造成的，降低表面应力的方法有

1.降低蒸发速率

2.延长放气时间

3.降低烘烤温度

colman91155 · *发表于* 2004-9-11 07:57:00

请问有能在ZnSe上镀ITO膜的吗？

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