急求：镀膜二氧化硅和氧化钛的多层膜，用的是光弛机器1300，出现点子问题

lengyu · *发表于* 2008-11-24 15:56:41

用的这种机器出现白点的问题很严重，有那位高手能帮忙解决一下，？？？

ZHJ7239 · *发表于* 2008-11-25 05:55:29

膜料引起的，主要是SIO2，把电子枪的光斑调好一点

zzzz · *发表于* 2008-11-25 12:46:05

怎样的光斑才算好尼??????????????????????????????????????????????????????????????

zofy · *发表于* 2008-11-25 13:10:59

用光池机器也能出现点子,水平也太高了吧,首先要看点子是黑色还是白色,黑色是TIO2,白色是SIO2,或者擦拭液体有点状的残留,有时候洗净也有这样的现象,关键是要找出真正的原因.caicm_001@163.com .我可以解决

onet7575 · *发表于* 2008-11-26 08:48:10

SIO2的光斑可以大一点点,但扫描要慢些,或者不开扫描

wazxq · *发表于* 2008-11-26 09:08:22

没用过光驰机，不过光洁度不是那么容易处理。进口设备的好处就是出现差机器的几率低。国内挺多光驰机器做不出好东西来。

wazxq · *发表于* 2008-11-26 09:08:58

最好把图片贴出来，分析产生原因

tfc · *发表于* 2008-11-26 14:44:06

原帖由 wazxq 于 2008-11-26 09:08 发表
没用过光驰机，不过光洁度不是那么容易处理。进口设备的好处就是出现差机器的几率低。国内挺多光驰机器做不出好东西来。

我有用过一天光弛，觉得是很不错的机器，做不出好东西可能原因不是机器吧？膜料质量和工艺很重要。
黑白点是蒸发工艺调整问题。但没有现场观察还不容易搞清楚。

lukaiyan · *发表于* 2008-12-2 19:17:15

1.飞溅问题，请确认在镀TiO2时一般会有飞溅，可能是药品太脏，或者电子枪电流太大，在镀膜时调整EB电流大小。
2.针孔问题，注意炉内清洁。
如有问题可以联系QQ805181662

JZNT · *发表于* 2008-12-11 14:46:04

9#的分析很用道理，学习了。

ggll · *发表于* 2008-12-11 15:07:35

请教各位，现有一套光学系统，用于室外，会受潮、盐雾、日照等各种环境影响，波长在800-900nm，透过率要求在R<1%左右，不知是否可以镀TiO2和SiO2抵抗上述环境呢？如需要，要大致多少层呢？，请各位专家指点和建议，谢谢，在线等

gxbm · *发表于* 2008-12-12 15:42:26

离子源！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！

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