如何检验光学样板的准确度

cr6808739 · *发表于* 2012-4-6 17:37:33

轮廓仪&干涉仪

欧文 · *发表于* 2013-10-23 08:57:23

看一看

光粒网-Kelly · *发表于* 2013-10-23 10:46:42

cr6808739 发表于 2012-4-6 17:37
轮廓仪&干涉仪

wjf990 · *发表于* 2013-11-22 15:01:50

老方法检测样板曲率使用接触式球径仪，矢高读数到小数点后四位，拟合计算后可以实现R±0.1%的样板曲率精度要求；再高精度就要在实验室使用大型光学球径仪直接测量球心像和球面顶点像的距离了，可以读数小数点后4位，精确到小数点后3位。
新方法直接使用Zygo测量系统绝对测量，计算机自动处理，读数精确到小数点后3位。