镀BBO时出现整面的很细的亮路

chz321 · *发表于* 2004-12-8 07:37:00

最近镀BBO晶体，只镀一层HFO2（400埃），后拿出来发现整面都有很细的亮路，

大家一起讨论一下可能引起的原因，

coatingzhang · *发表于* 2004-12-14 01:33:00

如果没有说错电话应该是应力引起的膜裂

zz · *发表于* 2004-12-8 22:12:00

不匹配

hgw2001 · *发表于* 2004-12-9 16:39:00

擦试的问题

wottlin100 · *发表于* 2004-12-9 20:04:00

切割角度为多少? 镀膜时温度多少? 我想擦的时候不至于看不见吧?

chz321 · *发表于* 2004-12-10 08:48:00

镀前擦拭时是看不见的，镀完后也看不见，可是镀完擦拭就出现细亮路了，

起初也是怀疑是擦拭，可用力擦拭那些细亮路都不会变多或变粗，膜的牢固也很好，

真是头痛，大家帮忙想想办法吧，

zz · *发表于* 2004-12-10 18:35:00

有亮路还说牢固度好，用橡皮头擦擦，还行吗？

chz321 · *发表于* 2004-12-11 07:37:00

用强力白胶带粘过，膜的牢固却实很好，

奇怪的是，镀厚后细亮路就没了，

xcy1075 · *发表于* 2004-12-13 05:22:00

有没有用离子原啊

wottlin100 · *发表于* 2004-12-13 20:47:00

排除了擦拭的原因了吗?

不会吧? 切割角度?烘烤的升温情况如何?降温如何?镀膜时速率如何?镀膜时束流多大?

wottlin100 · *发表于* 2004-12-14 20:07:00

顶！

zz · *发表于* 2004-12-15 23:52:00

啥？镀厚亮路就消失了？现象重复吗？

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