[讨论]关于Tio2材料喷料的原因

最近Tio2常常镀膜时出现喷料!!! 就是镀好了一层膜整个材料讯速鼓起!!!又要预熔!有时这产品光洁度有了影响!!! 三台机器!(韩一)有二台经常喷料!另一台不喷!(同一台南光机预熔出来) 到底是预熔时有问题还是什么的???(是预熔时真空度???是材料本身???还是冷却水?) 请各位前辈讨论讨论!怎么样才能预防?谢谢!

预熔:扫描4.5*4.5  再3.5*3.5 然后2.5*2.5   到0*0   束流360       镀膜光标X:0,Y:0就是这样的!

先用大范围的scan,ycan预熔，然后逐渐减小，镀膜的时候采用扫描最小值镀膜．试试看，不行再找我．

料性不同也会导致鼓起来！颗粒度大小相差太大突然间受热，会导致溅料！熔融由小电流开始逐渐增大会好些！

当SCAN缩小,束六也应相应减少.

材料鼓起的原因 是因你底層材料預融不完全所造成

建議將材料鼓起部分敲碎 再融過

否則會將一顆不定時炸彈 隨時會炸開