[求助]真空蒸镀Ni请教

天涯孤星 · *发表于* 2005-5-23 19:09:00

各位老大：
我使用北仪的DM700，蒸镀方式镀Ni，蒸发速率慢，请问如何调整。
谢谢

kulak · *发表于* 2005-5-23 19:53:00

改用溅镀喽.哈哈,速度会提高很多!飞一样的速度

fishdesky · *发表于* 2005-5-24 05:48:00

用的是什么装得镍啊
镍是镍丝还是粉？

zz · *发表于* 2005-5-24 22:08:00

增大高压即可//////////////////////

天涯孤星 · *发表于* 2005-5-25 19:26:00

[B]以下是引用[I]fishdesky[/I]在2005-5-23 21:48:02的发言：[/B][BR]用的是什么装得镍啊
镍是镍丝还是粉？

镍粉,蒸发源为钨片,厚度为0.5,在蒸发过程中,由于蒸发速度慢,造成钨片断,NI粉留下一半.

天涯孤星 · *发表于* 2005-5-25 19:31:00

[B]以下是引用[I]zz[/I]在2005-5-24 14:08:09的发言：[/B][BR]增大高压即可//////////////////////

你是指电压,
还是高真空?

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