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请教来宝镀膜机
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请教来宝镀膜机
5.1k
17
liurongbo
Lv.4
发表于
2005-6-16 04:50:00
|
江苏
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我有几个问题想请教大家:
单位的莱宝
镀膜
机出现两种故障,我不知道怎么解决,请赐教:
1.镀膜
材料
在运作过程中塌方(容器内部分空掉);
2.程序运行到37步时,无法继续进行,这是正好是镀第一层膜。
望大家指导,bonue.liu@hotmail.com
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共 17 个
zz
Lv.10
发表于
2005-6-16 20:18:00
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广东
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一.料没熔好
二.设置有问题////////////////////////////
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flyinlove79111
Lv.8
发表于
2005-6-17 02:09:00
|
陕西
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你说的材料是什么材料啊?一些材料在蒸发功率设置不当的情况下会发生这种事情,你就调整功率吧.要不就是象2楼说的,材料没有预熔好;第一层膜都还没镀就走不下去,应该是设置问题,否则就是电路出问题了.
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liurongbo
楼主
Lv.4
发表于
2005-6-17 04:47:00
|
江苏
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谢谢!
我们第一层是TiO2。
1.请问我们应该在过程中如何来保证TiO2能够熔好?
2.37步无法继续下去是因为设置的问题,能判断出可能是那些参数吗?
谢谢交流!
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flyinlove79111
Lv.8
发表于
2005-6-17 19:17:00
|
陕西
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预熔氧化钛,时,如果坩埚很大,就一点一点加氧化钛,多熔几次,如果一次加的材料太多,有时候就不易熔透,就会出现你说的情况.程序无法继续下去,那电脑有没有什么提示或报警???如果有就好办了.
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liurongbo
楼主
Lv.4
发表于
2005-6-18 08:00:00
|
江苏
|
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今天莱宝的技术员来我公司,运行不了是电路除了问题,一直在调试,但是到目前还没有完全搞好。
提到预熔,我们是放进去程序一直跑到底,中途如果塌方就只能停下来。不知道有没有方法直接做预熔,这样节省时间。手动预熔又是怎么操作呢?谢谢。
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flyinlove79111
Lv.8
发表于
2005-6-18 08:42:00
|
陕西
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手动预熔,必须在启动自动程序之前,用专门手动程序对材料进行手动预熔。
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lzw_happy
Lv.8
发表于
2005-6-20 05:44:00
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上海
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我想还是先手动预熔好材料
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liurongbo
楼主
Lv.4
发表于
2005-6-21 04:55:00
|
江苏
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谢谢大家,设备还是搞好了,当然也少不了手动预熔,真的谢谢大家。
不过,
我们做4层减反膜,可是做出来的结果总是NG,要不就是680nm处高出,要不就是560-570nm左右高出,这个怎么改善呢?
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zz
Lv.10
发表于
2005-6-21 15:48:00
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广东
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有两个可能:
1.理论折射率不准确
2.TOOLING值不准确
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liurongbo
楼主
Lv.4
发表于
2005-6-22 04:09:00
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江苏
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我的莱宝机器又出问题了,
自动预熔TiO2的时候本来应该2分钟左右就进行下一步的,现在程序不切换,一直镀下去了,还不停下来。望指点!!
10楼兄弟说的比较笼统,我发现镀膜的时候,镀每一层时OMS反射率达到一个值则进行下一步,但是每次Crystal检测的厚度都不一样,并且我发现如果厚度控制在一个范围内,其结果就可能是OK的,望详细指点!
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zz
Lv.10
发表于
2005-6-22 15:51:00
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广东
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不切换不时你设置有问题,就是设备有问题.
哦,那你直接用CRYSTAL监控就是了.
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