Nb2O5和Al2O3之间出现的情况

ic5 · *发表于* 2006-9-13 19:03:00

利用Nb2O5和Al2O3做多层膜（40层左右），结果出现明显的吸收（基板发黑，透过率和设计值相差20%左右）。

上述俩材料的镀膜条件在其他多层膜（Nb2O5/SiO2和Al2O3/Ta2O5）中都达到证

实，并没有出现明显的吸收现象。

请问出现这种现象的原因？有人说是Nb2O5和Al2O3在界面处出现了金属化现象，如果是这样，谁能给予一些理论分析吗？或者提供一些理论资料供参考，不甚感激！

ic5 · *发表于* 2006-9-16 01:06:00

给自己顶一下，期待您的指导！

coatingli · *发表于* 2006-9-18 04:53:00

是不是Nb和Al之间形成了金属间化合物Nb3Al

zzzz · *发表于* 2006-9-18 17:16:00

有可能吧

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