对单晶硅抛光的技术讨论

harber · *发表于* 2006-7-7 15:26:00

我们有一批单晶硅需要抛光，以前我记得用氧化铬就可以抛光。但现在试了很多次也不行，在此求助于同行朋友们，希望在此讨论一下单晶硅的抛光工艺！！

lzldnn · *发表于* 2006-7-7 16:16:00

不知道这个有没有帮助

顺便问一句，楼主的单晶硅是棒还是片，可以转让一点吗？我们需要用单晶硅片作基底

lzldnn · *发表于* 2006-7-7 16:18:00

书　　名：硅单晶抛光片的加工技术

著译者：张厥宗
出版社：化学工业出版社
出版日期：2005-8-1
印刷日期：2005-8-1
上架日期：2005-9-30
书　　号：ISBN 7-5025-7224-4
规　　格：精装32开,304页
原　　价：35 元

cscaosheng · *发表于* 2006-7-7 16:51:00

我公司提供加工单晶硅的专用抛光液.有需要的话可以和我联系.

联系电话:010-51653168-815 手机:13401078691 曹生

电子邮件:caosheng@bjgrish.com

harber · *发表于* 2006-7-7 18:01:00

感谢朋友们的支持了！

harber · *发表于* 2006-7-7 18:08:00

不知道这个有没有帮助

顺便问一句，楼主的单晶硅是棒还是片，可以转让一点吗？我们需要用单晶硅片作基底

不知你们用的是多大的直径？我们现在在抛4"X0.5mm的硅片

xirui · *发表于* 2006-7-8 18:39:00

这东西我以前做过，镀膜镀不好。前截止的，你哪里能镀吗？你们做红外的吗？

lzldnn · *发表于* 2006-7-9 17:04:00

稍微大点比较合适些，您说的4*0.5mm是指的厚度0.5,直径4么？

xirui · *发表于* 2006-7-9 19:55:00

直径4英寸，厚度0.5mm

harber · *发表于* 2006-7-10 17:56:00

lzldnn兄，xirui说得对，是口径为4英寸，厚度为0.5mm的硅片，这种东西不太好做，不过，我们采用了碱性氧化铈，抛光的效果还不错。

希望更多的朋友参与技术讨论！！

liya_xu0801 · *发表于* 2006-7-11 17:16:00

我们公司可以进行加工，抛光，qq:57285667

xirui · *发表于* 2006-7-11 19:13:00

抛光没问题，60/40，40/20都没问题，具体的是光圈和镀膜，我当时做的是5道圈，但是镀膜牢固度不行。

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