求教

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发表于 2006-8-11 16:36:00|广东 | 查看全部 阅读模式

请教一个问题

为什么我蒸镀SiO时,膜厚监视仪显示的变动总是非常小,一般不超过4% ?

回复|共 6 个

王李 Lv.8 发表于 2006-8-11 17:04:00|福建 | 查看全部

你的监控片是否为K9片?


yh15430 Lv.10 发表于 2006-8-12 01:55:00|安徽 | 查看全部
监控片的折射率接近镀膜材料的可能性大。
xiaozhou Lv.8 发表于 2006-8-12 04:47:00|四川 | 查看全部

可在监控片上先镀一个极值的高折射率膜料

johnny5277 楼主Lv.6 发表于 2006-8-12 19:53:00|广东 | 查看全部

楼上几位的意思是不是监控片的折射率如果和镀膜材料接近的话

就会出现我说的这样现象??

ps:本人菜鸟,还望各位多多指点

yjvfhp Lv.6 发表于 2006-8-21 05:32:00|湖北 | 查看全部
用反射光控制就可以了
dinghaiyi Lv.8 发表于 2006-8-21 21:28:00|广东 | 查看全部

基片的折射率大于膜层的折射率时,可以先镀一层折射率大于基底折射率的膜层。

也可以增加增益来放大显示范围。

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