谁知道晶控比例因子变化特别大的原因？

tfc · *发表于* 2009-1-9 11:07:59

用IC/2的晶控，镀Ti3O5时同膜系中厚度差不到一倍，比例因子差好几倍。做重复时，厚度大的层，比例因子变化比较明显。

zzzz · *发表于* 2009-1-9 17:00:55

比例因子差好几倍表示怀疑?
总不可能一个是0.5,另一个是1.5吧
你不会做纳米膜吧

tfc · *发表于* 2009-1-9 17:07:21

也就是普通宽带AR，应该是有问题，但问题出在哪里呢？

tfc · *发表于* 2009-1-15 12:15:32

帖子没人回吗？
虽然找到一些因素，但还想听听大侠们的意见。

singlewolf · *发表于* 2009-1-18 15:45:58

首先调PID吧，调的差不多了再搞其他的

Ion.source · *发表于* 2009-1-19 17:23:21

做同样厚度,看看重复性,先排除晶阵问题, 如果晶阵是好的,就是镀膜过程的,蒸发角度,测量也很重要.

xiazg · *发表于* 2009-1-21 15:27:28

嘉兴晶控电子有限公司生产高品质的晶控片,应用美国的设备和技术15068338773

xiazg · *发表于* 2009-2-4 12:40:47

用我们的晶振片试试看好了15068338773

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