Mark 2离子源温度问题

E501559 · *发表于* 2011-9-1 09:37:27

如题， MARK 2 离子源没有水冷
我现在遇到的问题就是，在镀膜时，从开始到结束，一直都用离子源，所以在镀膜过程中因为真空室温度高，要停好几次，后来，检查后，发现，温度高的原因来自离子源发热严重
请大家帮忙研究一下，离子源发热跟那些因素有关系！不胜感激！

地平线 · *发表于* 2011-9-1 13:45:15

没有水冷温度自然会升高的，不知道你镀的是什么产品，我用的也是MARK2离子源，镀的朔胶片，真空室温度一般都不会超过100度，没有什么影响啊。

xiao2011 · *发表于* 2011-9-1 16:39:44

离子源有没有通冷却水？

E501559 · *发表于* 2011-9-1 17:04:44

地平线发表于 2011-9-1 13:45
没有水冷温度自然会升高的，不知道你镀的是什么产品，我用的也是MARK2离子源，镀的朔胶片，真空室温度一般都 ...

你们的Mark 2 有水冷吗？
我们镀的也是塑胶件啊，但是温度较之前对比的话，有很大的变动，就是不知是什么对其有这么大的影响。

E501559 · *发表于* 2011-9-1 17:06:17

xiao2011 发表于 2011-9-1 16:39
离子源有没有通冷却水？

没有水冷系统，因为之前没有这样的状况啊，所以才问是什么原因啊

xiao2011 · *发表于* 2011-9-2 20:26:12

E501559 发表于 2011-9-1 17:06
没有水冷系统，因为之前没有这样的状况啊，所以才问是什么原因啊

是不是用的膜料和以前的不一样，

valle · *发表于* 2013-8-23 16:23:34

在穩定ANODE A-DC 的狀態下，GAS FLOW數值突然增加到較大，在辦小時內提升了80%，會是什麽原因？

clark007 · *发表于* 2013-8-27 07:54:04

阳极电流恒定的话，气流是会变动的。个人经验：这个气流变化和背景真空度有关，比如刚开始膜料放气大的话，离子源气流也会比较低。仅供参考

Ion.source · *发表于* 2013-11-18 21:13:42

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cikelong2000 · *发表于* 2013-11-27 22:36:00

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crl0129 · *发表于* 2013-11-28 15:31:12

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