求助:间隙测量

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发表于 2007-8-20 22:22:48|上海 | 查看全部 阅读模式
除了干涉仪,还有什么办法实现两块玻璃之间的间隙测量,间隙范围在10个微米以内,误差最好在0.01微米以下
谢谢赐教

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