应力抛光技术加工抛物面的实验研究

大口径非球面加工技术一直是先进光学制造领域研究的前沿课题，本文开展了以大型非球面应力抛光技术（SMP）为核心的相关先进光学制造技术的研究。研究了应力抛光技术的原理及算法，以加工一块口径为φ314mm，F／7的抛物面镜为例，验证应力抛光技术的合理性和有效性。采用干涉仪检测抛光结束的抛物面其峰值（PV）为3．3172，均方根（rms）为0．489λ。结果表明，应力抛光技术能够以较高精度、快速地形成旋转对称的抛物面，其面形误差满足或接近于非球面面形的精度要求。

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2010-6-21 16:57 上传

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不错，谢谢阿

好文！谢谢楼主无私奉献！