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AL被腐蚀原因何在
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AL被腐蚀原因何在
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baron
Lv.6
发表于
2008-7-30 10:18:12
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镀增强AL的,镀完膜后,放置一段时间后,发现AL膜被腐蚀没了,就是在边缘部分,完全看不到AL膜,我们也加镀了AL2O3做保护,可是还是被腐蚀了,至今还找不到原因出在哪里??希望有经验者,给一点指点,谢谢
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aleko
Lv.5
发表于
2008-7-31 09:01:41
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上海
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铝的性质相对来说是很活泼的,包括氧化铝,很容易和酸碱发生化学反应。
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APS1104
Lv.7
发表于
2008-7-31 14:52:52
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上海
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回复 1# baron 的帖子
你试试看AL2O3+AL+AL2O3怎么样?你基片清洁的怎么样?
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baron
楼主
Lv.6
发表于
2008-8-1 17:57:18
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福建
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我们膜系是这样的AL2O3 AL ::::::: 有离子源刻蚀 但是有的时候不会 有的时候就会 不知道是怎么回事???
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xiao2000
Lv.8
发表于
2008-8-3 10:16:09
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天津
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是不是Al已经反应了?
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nation
Lv.8
发表于
2008-8-3 17:04:57
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广东
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不用离子源试试,是不是挡住了。
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baron
楼主
Lv.6
发表于
2008-8-4 19:37:11
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福建
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什么意思 被挡住了 这不太可能 楼上说的AL已经被反应了?如何理解?我们镀膜的时候是用AR的
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swift
Lv.4
发表于
2008-8-6 13:52:52
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山东
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值得关注!UPUP!
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baron
楼主
Lv.6
发表于
2008-8-6 16:59:26
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AL2O3+AL+AL2O3能做到什么样的指标
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