请教测量金属薄膜（几十纳米）/吸收薄膜厚度以及折射率的方法

weisongying · *发表于* 2009-3-27 14:04:18

请教：测量金属薄膜（几十纳米）/吸收薄膜厚度以及折射率有哪些方法

lt2002486 · *发表于* 2009-3-27 14:41:08

买个仪器测下，就OK了，现在市面上多的是啊。。。。
我们公司就卖这种。。。。。。

zzzz · *发表于* 2009-3-27 15:17:13

椭偏仪................................

weisongying · *发表于* 2009-3-27 15:41:24

2# lt2002486

你们的仪器是根据什么原理的

weisongying · *发表于* 2009-3-27 15:42:30

3# zzzz

椭偏仪在测量金属薄膜的时候，该怎么计算呢~~测量出psi 和data之后，怎样得出折射率以及厚度

regen2008 · *发表于* 2009-3-31 02:09:37

同问。。。我现在用的椭偏仪在测量结果中可以直接读出n，k 。但是膜厚度需要模拟，结果很不准确。
有能计算的方法么？

gxbm · *发表于* 2009-4-1 09:57:59

根据光谱估算吧。不会很精确的。

lt2002486 · *发表于* 2009-4-8 13:19:56

告诉我,  你的基片是甚么？
      你测量的精度要求是多少？
      如果有可能的话，给样品我帮你测，看结果就知道了。

   光学仪器是估算出来的，结果是比接触式的差。如果运用上显微镜技术，精度就很高了。。。。

tfm.cn@audiodev.com 想交流联系我，刘飞

zzzz · *发表于* 2009-4-9 13:22:27

难不成要我把椭偏仪的原理讲一遍
测试者的经验积累很重要

liu8209 · *发表于* 2009-8-23 01:49:26

我们常讲的薄膜厚度一般在10埃到100微米之间。它们在工业上的用途非常广。它们的制程也有多种。薄膜必须拥有适当的厚度，组成，粗糙度，及别的特性才能起到它应有的功用。我这里简单介绍两种薄膜厚度和光学特性的检测方法。
光学检测技术通过测量薄膜与光发生的相互作用来确定它的特性。光学技术可以测量薄膜厚度，表面粗糙度，和光学常数。光学常数（折射率 n 和消光系数 k）则是用来描述光在一个材料内的传播和在材料界面上的反射。
薄膜检测方法中的首选应该是光学测量技术。因为它们既准确无损，而且不需要花大量时间来准备样品。两种最常见的光学测量技术是光谱反射仪和椭偏仪。
光谱反射仪通过测量在一定波长范围内垂直光反射的强弱。椭偏仪也很类似。只是它的入射光和反射光都与样品表面不垂直。并且用两个偏光。一般来讲光谱反射仪比椭偏仪要简单和便宜。并且容易操作，维修简单。特别是在线测量时光谱反射仪更能显示出它的优势。
在绝大多数薄膜测量情况下光谱反射仪和椭偏仪都可以测量厚度，表面粗糙度，和多种薄膜的光学常数。只有在薄膜特别薄（<3nm）或者结构层次特别复杂的情况下你就只好花大钱来买椭偏仪用了。
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