Melles Griot公司17MAX600系列6维精密位移平台

Melles Griot公司17MAX600系列6维精密位移平台（X, Y, Z, θx, θy, θz）及17MAX300系列3维精密位移平台（X,Y,Z）集超高的调节精度及稳定性于一身。专利设计parallel-flexure技术，使17MAX系列精密位移平台拥有明显优于同类产品的可靠性。

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    17 MAX 300及17 MAX 600 系列精密定位平台可配合Melles Griot公司各种手动差分驱动器（17DRV002）、步进马达驱动器（17DRV001）、及压电陶瓷驱动器（17DRV120）一起使用。







    17 MAX 系列精密定位平台中有几款已经装有内置，但通过增加外置的17DRV120 压电驱动器还可以进一步提高压电陶瓷驱动器的行程。下图 即为17 MAX 301维精密位移平台（含内置PZT驱动器）＋17DRV120压电陶瓷驱动器＋17DRV002手动差分驱动器的组合，这样既利用了差分驱动器的较长的行程，又得到了双倍PZT行程。






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