ion tech 的射频离子源问题描述

ion tech 的射频离子源，将BEAM电流与中和器的EMISSION比率设置后，中和器的EMISSION不能到达比率应该的值，如何解决？？

例如BEAM电流设为400mA，比率设为200%，中和器EMISSION只有510

如此的问题，我还没有遇到过，我认为主要原因还是在中和器上，请你观察中和器的EMISSION是否稳定，中和器的放电情况是否稳定，最好将中和器进行清洁一下！

EMISSION很不稳定，中和器已经进行清洁了，好了两三天，又成那样了

那原因可能在中和器这里了，查查中和器有没有气管阻塞、漏气等情况，或者中和器的射频线圈有没有安装好！

1. 清洁中和器时注意COLLECTOR内部和小陶瓷的清洁
2. 注意使用氩气的纯度,气体管路有无漏气
3. 离子源停止工作后,中和器氩气不要关,要开半小时再开真空室
以后有Ion Tech射频离子源的问题可以发邮件到ion.source@yahoo.com.cn
我用过他们的离子源,说不定可以帮上忙.