膜层的硬度

tyronewang · *发表于* 2009-4-23 22:06:35

怎么样才能提高膜层的硬度?

tyronewang · *发表于* 2009-4-23 22:12:39

我们最近做了几个玻璃样品到国外,用的材料是AL2O3,Ti3O5,SiO2,三种材料的速率分别为3.5,3和6,在莱宝APS1104上做的,开APS源.样品寄到国外其它都过,竟然测试膜层耐擦试不过,好象是膜层硬度不够?不知大家有何方法提高膜层的硬度

*发表于* 2009-4-23 23:10:46

提高硬度方面有好几种方法：1离子源辅助度2调整镀膜的速率3改变作业真空度4对镀制品进行镀前烘考等如果还有需要了解的可以加我QQ79293732（附镀膜）

jhxxmlhk · *发表于* 2009-4-24 08:14:12

最后层膜料用SiO2不行，耐擦拭性能比MgF2还要差。

tyronewang · *发表于* 2009-4-24 09:09:35

SiO2硬度不是比MgF2要好吗?为什么耐擦拭能力差呢

jhxxmlhk · *发表于* 2009-4-24 10:18:11

光滑的话耐擦拭就好点。

tyronewang · *发表于* 2009-4-24 11:29:26

jhxxmlhk 能留下联系方式多联系吗?

chugqchugq · *发表于* 2009-4-25 16:19:18

镀sio2时提高真空度（APS可正常工作），提高蒸发速率到10A

夏宾 · *发表于* 2009-4-27 08:33:46

晶振片生产厂家,15068338776,夏经理

宇宙深处 · *发表于* 2009-8-22 21:56:50

玻璃基材应该不会有这样的问题吧！！！！（加温350）

YJD · *发表于* 2009-9-2 21:38:47

可以适当的提高烘烤温度，可以有效增加膜层硬度

longmin · *发表于* 2009-9-3 00:02:52

鍍sio2時用iad加n2即可提高

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