镀sio2时需要充氧吗？充多少啊？

sunyan · *发表于* 2009-8-23 09:48:11

镀sio2时需要充氧吗？充多少啊？

*发表于* 2009-8-23 10:45:35

有的充氧有的不充,看你用的什么设备,看你的需要而定,折射率不同而已,我们蒸镀是在真空环境下,不充氧

likesongs · *发表于* 2009-8-23 10:54:17

学习了!mnjgvbjmbvjmgh

qlxk1026 · *发表于* 2009-8-23 13:29:01

一般O2/AR>0.6,O2=35SCCM，AR=15SCCM

ghtzna · *发表于* 2009-8-23 14:43:02

基本不，
影响不大

longmin · *发表于* 2009-8-23 16:45:11

其實如果採定壓力時
充的量是隨時間越來越多
只要製程條件一定
及可
這是個人的建議

jixiaoming · *发表于* 2009-8-24 14:11:34

二氧化硅，我个人觉的完全没有必要加氧气

zzzz · *发表于* 2009-8-25 08:06:03

只要产品能镀好,想加多少加多少

jinyu2100 · *发表于* 2009-9-1 11:13:51

是PECVD or Sputtering?
我们用PECVD, SiH4+O2+Ar or SiH4+N2O

lab6 · *发表于* 2009-9-1 11:57:33

高质量的sio2膜还是需要冲一些氧的，不过需要离子辅助，提高氧的活性

zhaohn868 · *发表于* 2009-9-1 12:13:15

二氧化硅，我个人觉的完全没有必要加氧气
看你用的什么设备,看你的需要而定,折射率不同而已

槟榔 · *发表于* 2009-9-1 14:58:02

根据产品性能要求而定

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