ITO薄膜表面粗糙

*发表于* 2010-5-14 10:55:26

本帖最后由 526951749 于 2010-5-14 11:09 编辑

刚蒸完的ITO薄膜在200倍显微镜下就可以看到比较粗糙，类似颗粒堆积，退火后颗粒更明显。不过透过率和方阻分别为95%和12。请教是何种原因导致薄膜较粗糙？
电子束蒸发，无离子助镀

fanyushan · *发表于* 2010-5-15 18:13:51

应该是蒸发速率大，或基地温度高所致

new1980 · *发表于* 2010-5-20 12:09:48

有没有人讨论一下啊？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？

z1206l · *发表于* 2010-6-29 19:23:00

镀ITO得下一番功夫，楼主可以做个DOE实践一下。
主要是针对温度和退火。

镜片检测 · *发表于* 2010-6-30 11:41:30

测反射率吗？我有测反射率的机子。

冰雨8788 · *发表于* 2010-8-5 21:45:54

没接触过，不过很想学习一下，请高手多多发言！！！！！！！！！！！！！！！！

qqucqquc · *发表于* 2010-9-26 23:05:56

学习了，但是讨论的人好少啊

回复|共 6 个