请教离子源的相关问题

jipeng · *发表于* 2005-9-20 06:52:00

有哪位高手离子源用的很熟练啊! !有用1100m的镀膜机装有离子源的吗? 有没有作用范围?离子源是北京空间直径12cm的.我镀的宽带膜(SiO2+TiO2)150度怎么刚镀完和凉下来的曲线差别很大啊我这先谢谢了啊!!

zz · *发表于* 2005-9-21 15:57:00

12CM的工作直径肯定不大于1100
膜不够致密,凉了漂移了

xiaozhou · *发表于* 2005-9-22 05:51:00

屏极电压多少?束流多少?充的什么气体?

jipeng · *发表于* 2005-9-22 06:50:00

谢谢!屏压300 束流100可以吗?另外我把离子源口径与基片距离缩短到多少合适呢?现在距离大概是800mm,充的是O2=15SCCM,真空度在1.1*10-2Pa.

xxyz · *发表于* 2005-9-23 00:11:00

这个需要做工艺实验,大概要几次实验吧.

zjm123 · *发表于* 2011-3-1 15:37:15

加提前量,出炉后吸水气会飘移

sery1234 · *发表于* 2011-3-1 16:00:01

楼上几位看法高见，大概差不多就这样了，另外你的氧气压力小了点，最少应该到1.8以上吧，否则你的材料氧化程度不够。另外你的离子源的功率也不够，如果够的话漂移量应该在2nm以内，这个应该是你可以接受的漂移范围！

fql3310 · *发表于* 2011-3-6 00:46:32

JINFENG215107 · *发表于* 2011-3-11 19:36:26

JINFENG215107 · *发表于* 2011-3-12 22:39:15

可以提供点关于离子源的资料给我吗？接触的比较少。谢谢！629432237@QQ。COM

缘睐汝痴 · *发表于* 2011-3-13 23:32:07

学习了，这些都是很常见的问题啊

mxbplayboy · *发表于* 2011-4-5 16:36:53

学习中

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