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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › [讨论]TiO2

[讨论]TiO2

 火...
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发表于 2003-5-21 14:12:00|山东 | 查看全部 阅读模式
TiO2的多层膜镀制中的蒸发速率一般控制在多少?如何来减少它的吸收?
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xfx9721 发表于 2003-5-21 17:15:00|福建 | 查看全部
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Jesus Lv.10 发表于 2003-5-21 19:57:00|湖北 | 查看全部

[讨论]TiO2

建议蒸发速率3-8A/s,多充氧气，吸收没问题
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风寒雪月缺 楼主Lv.10 发表于 2003-5-22 04:24:00|山东 | 查看全部

[讨论]TiO2

快了太容易溅料了.
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optionbeam Lv.5 发表于 2003-5-22 05:45:00|甘肃 | 查看全部

[讨论]TiO2

在5A/s左右,用氧离子束轰击或在沉积室中充氧气!
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xianrendu Lv.5 发表于 2004-1-3 03:20:00|广东 | 查看全部

[讨论]TiO2

参考:rate=0.25nm/s
   充氧p=2--3e-2pa
温度250
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kent90 Lv.8 发表于 2004-1-3 04:34:00|广东 | 查看全部

[讨论]TiO2

速率快了，没有吸收才怪。有离子氧又另当别论。用国产机的话，速率一般为0.2nm/s，但不管怎样，在400nm附近总是有吸收。
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fasces9 Lv.7 发表于 2011-7-15 17:15:15|浙江 | 查看全部
2-3E-2Pa的真空度你们是多少的流量啊？
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ipshjh2005 Lv.7 发表于 2011-8-2 21:16:12|广东 | 查看全部
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wcb674399566 Lv.6 发表于 2011-9-11 10:24:18|广东 | 查看全部
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