镀膜机的抽速

x_x_x_f · *发表于* 2007-8-24 10:12:35

各位大虾：
我这边的镀膜机，800，现代南光，感觉刚洗完机器抽速很快，但是过了两个礼拜左右抽速就变得慢好多了。如果再洗就又快了。差别很大。不知道大家有没有碰到这种情况？镀的介质膜，MgF2，ZrO2,Al2O3之类的膜料。

x_x_x_f · *发表于* 2007-8-24 11:12:15

如果机器正常的话，MgF2单层膜用南光的800机镀，阻蒸，从这次进炉到下一次进炉45分钟可以么？
感觉关键是真空不够快。

tfc · *发表于* 2007-8-24 16:22:35

如果你烤３００度＼５乘－３镀，这不算慢，见过一人，抽１５分钟就镀的，不管真空．

shuangzixing · *发表于* 2007-8-24 20:04:25

镀MGF2应该真空高点吧.你看看机械泵的油颜色是否氧化了.你可以练一下油

niechunyang · *发表于* 2007-8-24 21:14:23

是机器脏，都是这样字的

T10 · *发表于* 2007-8-25 06:22:00

阻蒸,都有这样的通病,是本身工艺过程决定的.

x_x_x_f · *发表于* 2007-8-25 09:36:46

我的机器800机，两圈烘烤，设定温度360度，实测270度，抽到5乘-3镀，可以么？
用电子枪镀感觉真空返得厉害，而且很废料。

x_x_x_f · *发表于* 2007-8-25 09:37:18

我说的是在上述情况下，用阻蒸镀。

kuikuiqq · *发表于* 2007-8-25 15:45:11

原帖由 x_x_x_f 于 2007-8-25 09:36 发表
我的机器800机，两圈烘烤，设定温度360度，实测270度，抽到5乘-3镀，可以么？
用电子枪镀感觉真空返得厉害，而且很废料。

很正常的哦,料里面本身空气也很多的,抽抽就好了

zzzz · *发表于* 2007-8-27 10:54:05

用两周才洗把错了
一周一洗的都多的是了

ferry · *发表于* 2007-8-27 13:40:25

我们当时洗的更不勤.半个月呢.

luokobe · *发表于* 2007-9-13 22:39:03

郁闷，我们现在的日本的机器，要两天清一次呢！
清机后，35就能抽到3E-5Torr

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